INDICE INTRODUZIONE.....................................................................................1

(1)

INDICE

I N T R O D U Z I O N E . . . 1 1 N AS I E L E T T R O NI CI . . . 4 1 . 1 I N T R O D U Z I O N E . . . 4 1 . 2 I L P R O BL E M A D E L M O N I T O R A G G I O A M B I E N T A L E E L ’I N Q U I N A M EN T O D A D I O SS I D O D I A Z O TO . . . 1 3 2 S E NS O R I C H I M I C I . . . 1 8 2 . 1 A P P R O C C I O T E O R I C O A L L ' AD SO R B I M EN T O . . . 1 9 2. 1 . 1 PR I N C I P I G E N E R A LI . . . 2 0 2. 1 . 2 EQ U A Z I O N E D I L A N G MU I R . . . 2 6 2. 1 . 3 I S O T ER M E D I A D S O R BI M E N TO . . . 3 0 2 . 2 M A T ER I A LI I M PI EG A T I P E R L A R E A LI Z Z A Z I O N E D I S E N S O R I C H I M I C I . . . 3 4 2. 2 . 1 N A N O T U BI I N C A R BO N I O ( C N T) . . . 3 6 2. 2 . 2 O S SI D I M E T A L L I C I ( MO X) . . . 4 9 2. 2 . 3 PO L I M ER I C O N D U T T O R I ( C P) . . . 6 9 2. 2 . 4 I L SI L I C I O P O R O SO ( P S) . . . 8 2 3 I N T EG R AZ I O N E D EL L A C I R C U I T ER I A E L E T T R O N I C A E D I M I C RO R I S C AL D AT O R I I N S I S T E M I D I “G AS S E N SI N G ”. . . 1 1 1 3 . 1 I N T R O D U Z I O N E . . . 1 1 1 3 . 2 I N T EG R A Z I O N E MO N O L I T I C A C O N SI S T E MI D I R EG O L AZ I O N E E C O N T R O L L O D I T E M P ER A T U R A I N S E N SO R I D I G A S . . . 1 1 4 4 D E S C R I Z I O N E E C AR AT T E R I Z Z AZ I O N E DE L C H I P . . . 1 3 3 4 . 1 L A T I PO LO G I A A P SF E T . . . 1 3 4 4 . 2 C AR A T T E R I Z Z A Z I O N E D E L S I L I C I O PO R O SO . . . 1 3 8 4 . 3 P R O G E T T A Z I O N E E R E AL I Z Z A Z I O N E D E L C H I P . . . 1 4 9 4 . 3 . 1 S T R U T T U R A D E L S EN S O R E A L L ’ I N T ER N O D EL C H I P . . . 1 5 1 4 . 4 C AR A T T E R I Z Z A Z I O N E D E L L’ E L E T T R O N I C A “ O N C H I P” . . . 1 5 6 4 . 4 . 1 C AR A T T E R I Z Z AZ I O NE D E I D MO S . . . 1 5 7 4 . 4 . 2 C AR A T T E R I Z Z AZ I O NE D E G L I A M P L I F I C A T O R I O P E R A Z I O N AL I 1 6 3 4 . 4 . 3 C A R A T T E R I Z Z AZ I O N E D E L S EN S O R E D I T E M P ER A T U R A E D E L L A VB G . . . 1 7 4 4 . 5 D E S C R I Z I O N E D E L L A F A S E D I PO S T - P R O C E S SI N G . . . 1 8 2 4 . 5 . 1 A P E R TU R A D E L L E A R EE A T T I V E . . . 1 8 3 4 . 5 . 2 R E A L I Z Z AZ I O N E D EL L O S T R A T O PO R O SO . . . 1 9 1 4 . 6 C A R A T T E R I Z Z A Z I O N E D E L S E N SO R E I N PR E S E N Z A D I N O2. . . 2 0 1 4 . 7 R I SU L T A T I S P E R I M EN T A L I . . . 2 1 1 5 C O N C L U S I O N I E S VI L U P P I F U T U R I . . . 2 2 3 B I B L I O G R AF I A . . . 2 2 7