Semiconductor Characterization by Scanning Ion Beam Induced Charge (IBIC) Microscopy

Testo completo

(1))JOEBXJ 1VCMJTIJOH $PSQPSBUJPO *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF 7PMVNF "SUJDMF *% QBHFT IUUQEYEPJPSH. 3FWJFX "SUJDMF 4FNJDPOEVDUPS $IBSBDUFSJ[BUJPO CZ 4DBOOJOH *PO #FBN *OEVDFE $IBSHF *#*$ .JDSPTDPQZ &UUPSF 7JUUPOF %FQBSUNFOU PG 1IZTJDT $/*4. BOE /*4 $FOUSF PG &YDFMMFODF 6OJWFSTJUZ PG 5PSJOP 7JB 1 (JVSJB 5PSJOP *UBMZ $PSSFTQPOEFODF TIPVME CF BEESFTTFE UP &UUPSF 7JUUPOF FUUPSFWJUUPOF!UPJOGOJU 3FDFJWFE 4FQUFNCFS "DDFQUFE 0DUPCFS "DBEFNJD &EJUPST : (F : ,VTBOP 7 3BMDIFOLP BOE ) :BTVEB $PQZSJHIU ª &UUPSF 7JUUPOF ćJT JT BO PQFO BDDFTT BSUJDMF EJTUSJCVUFE VOEFS UIF $SFBUJWF $PNNPOT "UUSJCVUJPO -JDFOTF XIJDI QFSNJUT VOSFTUSJDUFE VTF EJTUSJCVUJPO BOE SFQSPEVDUJPO JO BOZ NFEJVN QSPWJEFE UIF PSJHJOBM XPSL JT QSPQFSMZ DJUFE ćF JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF *#*$ UFDIOJRVF JT B TDBOOJOH NJDSPTDPQZ UFDIOJRVF XIJDI VTFT ĕOFMZ GPDVTFE .F7 JPO CFBNT BT QSPCFT UP NFBTVSF BOE JNBHF UIF USBOTQPSU QSPQFSUJFT PG TFNJDPOEVDUPS NBUFSJBMT BOE EFWJDFT *UT TVDDFTT TUFNT GSPN UIF DPNCJOBUJPO PG UISFF NBJO GBDUPST UIF ĕSTU JT TUSJDUMZ UFDIOJDBM BOE MJFT JO UIF BWBJMBCJMJUZ PG MBCPSBUPSJFT BOE FYQFSUJTF BSPVOE UIF XPSME UP QSPWJEF TDBOOJOH .F7 JPO CFBNT GPDVTFE EPXO UP TVCNJDSPNFUFS TQPUT ćF TFDPOE SFBTPO TUFNT GSPN UIF QFDVMJBSJUZ PG .F7 JPO JOUFSBDUJPO XJUI NBUUFS EVF UP UIF BCJMJUZ UP QFOFUSBUF UFOT PG NJDSPNFUFST XJUI SFEVDFE TDBUUFSJOH BOE UP FYDJUF B IJHI OVNCFS PG GSFF DBSSJFST UP QSPEVDF B NFBTVSBCMF DIBSHF QVMTF GSPN FBDI JODJEFOU JPO -BTU CVU OPU MFBTU JT UIF BWBJMBCJMJUZ PG B SPCVTU UIFPSFUJDBM NPEFM BCMF UP FYUSBDU GSPN UIF NFBTVSFNFOUT BMM UIF QBSBNFUFST GPS BO FYIBVTUJWF DIBSBDUFSJ[BUJPO PG UIF TFNJDPOEVDUPS ćJT QBQFS JT GPDVTFE PO UIFTF UXP MBUUFS JTTVFT XIJDI BSF FYBNJOFE CZ SFWJFXJOH UIF DVSSFOU TUBUVT PG *#*$ CZ B DPNQSFIFOTJWF TVSWFZ PG UIF UIFPSFUJDBM NPEFM BOE SFNBSLBCMF FYBNQMFT PG *#*$ BQQMJDBUJPOT BOE PG BODJMMBSZ UFDIOJRVFT UP UIF TUVEZ PG BEWBODFE TFNJDPOEVDUPS NBUFSJBMT BOE EFWJDFT. *OUSPEVDUJPO " DIBSHFE QBSUJDMF XJUI FOFSHZ IJHIFS UIBO F7 JF DIBSHFE QBSUJDVMBUF JPOJ[JOH SBEJBUJPO QBTTJOH UISPVHI B NBUFSJBM EFQPTJUT FOFSHZ NBJOMZ UISPVHI $PVMPNC JOUFSBD UJPOT XJUI UIF FMFDUSPOT XJUIJO UIF BCTPSCFS BUPNT <o> *G UIF QSJNBSZ DIBSHFE QBSUJDMFT BSF FMFDUSPOT B MBSHF GSBDUJPO PG UIFJS FOFSHZ DBO CF MPTU JO B TJOHMF JOUFSBDUJPO BOE UIFJS USBKFDUPSJFT XJUIJO UIF NBUFSJBM BSF WFSZ UPSUVPVT CFDBVTF UIFJS NBTT JT FRVBM UP UIBU PG UIF PSCJUBM FMFDUSPOT XJUI XIJDI UIFZ BSF JOUFSBDUJOH "MTP JO UIF DBTF PG FOFSHFUJD .F7 JPOT NPTU PG UIFJS FOFSHZ JT MPTU JO DPMMJTJPOT XJUI UIF BUPNJD FMFDUSPOT UIF JOUFSBDUJPOT XJUI UIF BUPNJD OVDMFJ PDDVS NVDI NPSF SBSFMZ ćFSFGPSF UIF JPO VOEFSHPFT B IVHF OVNCFS PG JOUFSBD UJPOT BOE HSBEVBMMZ MPTFT JUT LJOFUJD FOFSHZ UIF OFU FČFDU JT B HSBEVBM EFDSFBTF PG JUT WFMPDJUZ VOUJM UIF QBSUJDMF JT TUPQQFE ćF SBOHF PG .F7 MJHIU JPOT JO NBUUFS JT NBJOMZ EFUFSNJOFE CZ UIF FMFDUSPO TUPQQJOH QPXFS JF UIF BWFSBHF FOFSHZ MPTT PG UIF JPO QFS VOJU QBUI MFOHUI BOE EFQFOET PO CPUI UIF JPO BOE UBSHFU NBTTFT BUPNJD OVNCFS BOE JPO WFMPDJUZ GPS .F7. MJHIU ) PS )F JPOT JU FYUFOET UP EJTUBODFT PG UIF PSEFS PG UFOT PG NJDSPNFUFST BO FYIBVTUJWF SFWJFX PG JPO FOFSHZ MPTT NFDIBOJTNT JO NBUUFS DBO CF GPVOE JO DIBQUFS PG <> .PSFPWFS CFDBVTF PG UIF IJHI JPOFMFDUSPO NBTT SBUJP UIF USBKFDUPSJFT PG .F7 JPOT VOEFSHP GFX MBSHF BOHMF TDBUUFSJOH JOUFSBDUJPOT XJUI UIF TBNQMF OVDMFJ PXJOH UP UIFJS IJHI NPNFOUVN BDDPSEJOHMZ JPO USBKFDUPSJFT BSF OFBSMZ TUSBJHIU MJOFT VOUJM UIFZ BSF DMPTF UP UIF FOE PG UIFJS SBOHF XIFSF UIF OVDMFBS TUPQQJOH DSPTT TFDUJPO CFDPNFT OP NPSF OFHMJHJCMF .POUF $BSMP TJNVMBUPST PG JPO FOFSHZ MPTT TVDI BT TUPQQJOH SBOHF JO NBUUFS 43*. <> BSF SFBEJMZ BWBJMBCMF GPS FTUJNBUJOH UIF EFQUIXJTF FOFSHZMPTT QSPĕMF PG BO .F7 JPO ćF JOUFSBDUJPO PG UIF QSJNBSZ JPOT XJUI UIF BUPNT JO UIF NBUFSJBM JOEVDFT UIF SFMFBTF PG FOFSHFUJD FMFDUSPOT EFMUB SBZT. XJUI F7 UP LF7 FOFSHZ UIBU TVCTFRVFOUMZ MPTF UIFJS FOFSHZ UISPVHI UIF JOUFSBDUJPO XJUI UIF PSCJUBM BUPNJD FMFDUSPOT *O B TFNJDPOEVDUPS UIF PWFSBMM TJHOJĕDBOU FČFDU JT UIF QSPEVDUJPO PG NBOZ FMFDUSPOIPMF QBJST &)1T ćF OFU SFTVMU PG TVDI B QSPDFTT JT UIF HFOFSBUJPO PG B QMBTNB WPMVNF BMPOH UIF JPO USBDL XJUI B TVCNJDSPNFUFS SBEJBM FYUFOTJPO BOE B DIBSBDUFSJTUJD DPOF TIBQF EVF UP.

(2) UIF GBDU UIBU BT UIF JPO TMPXT EPXO EFMUB SBZT CFDPNF MFTT FOFSHFUJD BOE UIF HFOFSBUJPO WPMVNF DPMMBQTFT BU UIF FOE PG JPO SBOHF < > "DDPSEJOH UP UIF TFNJFNQJSJDBM NPEFM PG ,MFJO <> UIF BNPVOU PG FOFSHZ BWBJMBCMF UP DSFBUF &)1T JT MBSHFMZ JOEFQFOEFOU PG CPUI UIF FOFSHZ BOE UZQF PG UIF JPOJ[JOH SBEJBUJPO BOE UIF BWFSBHF FOFSHZ SFRVJSFE UP QSPEVDF POF FMFDUSPOIPMF QBJS JT PG UIF PSEFS PG GFX F7 F7 BU , JO 4J BOE JT MJOFBSMZ SFMBUFE UP UIF TFNJDPOEVDUPS CBOEHBQ *O TVNNBSZ UIF JOUFSBDUJPO PG B TJOHMF .F7 JPO XJUI B TFNJDPOEVDUPS NBUFSJBM HFOFSBUFT B IJHIEFOTJUZ WPMVNF PG GSFF DBSSJFST BMPOH UIF JPO USBKFDUPSZ XIJDI JT OFBSMZ B TUSBJHIU MJOF XJUI B UZQJDBM FOFSHZMPTT QSPĕMF LOPXO BT #SBHH DVSWF QFBLFE BU UIF FOE PG UIF JPO SBOHF %VF UP UIF IJHI OVNCFS PG &)1T DSFBUFE B NFBTVSBCMF DIBSHF QVMTF DBO CF FYUSBDUFE GSPN FBDI JPO TUSJLF BOE QSPDFTTFE CZ BO FYUFSOBM DJSDVJU XIJDI BMMPXT UIF HFOFSBUJPO PG B IJTUPHSBN PG QVMTF IFJHIUT UIF QVMTF IFJHIU TQFDUSVN *O DBTF PG NPOPFOFSHFUJD SBEJBUJPO UIF DPVOUT BSF EJTUSJCVUFE BSPVOE BO BWFSBHF QVMTF IFJHIU XIJDI JT DBMMFE UIF QFBL DFOUSPJE ćF QPTJUJPO PG UIF QFBL DFOUSPJE JT QSPQPSUJPOBM UP UIF NFBTVSFE DIBSHF BU UIF FMFDUSPEF UIF SBUJP PG TVDI B DIBSHF BOE UIF DIBSHF HFOFSBUFE CZ JPOJ[BUJPO JT UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ $$& XIJDI JT UIF NPTU JNQPSUBOU QBSBNFUFS VTFE UP DIBSBDUFSJ[F FMFDUSPOJD EFWJDFT JO QBSUJDV MBS TFNJDPOEVDUPS EFUFDUPST <> ćF FMFDUSPOJD SFTQPOTF PG B TFNJDPOEVDUPS UP UIF JSSB EJBUJPO PG B TJOHMF .F7 JPO JT B GVODUJPO PG UIF HFOFSBUJPO QSPĕMF BOE PG UIF NFDIBOJTN PG DIBSHFQVMTF GPSNBUJPO UIF GPSNFS EFQFOET PO JPO FOFSHZ BOE NBTT BOE PO UIF NBUFSJBM TUSVDUVSF BOE DPNQPTJUJPO UIF MBUUFS EFQFOET PO UIF FMFDUSJD QPUFOUJBM EJTUSJCVUJPO BOE PO UIF USBOTQPSU QSPQFSUJFT PG GSFF DBSSJFST JO UIF NBUFSJBM "T B DPOTFRVFODF JG B NPOPDISPNBUJD JPO QSPCF JT QSPWJEFE CZ BO .F7 JPO BDDFMFSBUPS UIF NFBTVSFNFOU PG DIBSHF QVMTFT QSPWJEFT WBMVBCMF JOGPSNBUJPO PO UIF FMFDUSPOJD DIBSBDUFSJTUJDT PG TFNJDPOEVDUPST .PSFPWFS UIFTF JOGPSNB UJPOT BSF HSFBUMZ FOIBODFE JG UIF .F7 JPO CFBNT BSF GPDVTFE BOE SBTUFS TDBOOFE PWFS UIF TVSGBDF PG UIF TQFDJNFO *O GBDU UIF LOPXMFEHF PG UIF JPO TUSJLF QPTJUJPO DPNCJOFE XJUI UIF BMNPTU TUSBJHIU JPO USBKFDUPSZ UIF MBSHF BOBMZUJDBM EFQUI XIJDI DBO CF NPEVMBUFE BT GVODUJPO PG JPO FOFSHZ BOE NBTT BOE UIF TVCNJDSPNFUFS SBEJBM FYUFOU PG UIF DIBSHF DBSSJFS HFOFSBUJPO WPMVNF BMMPXT UIF FMFDUSPOJD GFBUVSFT PG TFNJDPOEVDUPST UP CF TQBUJBMMZ SFTPMWFE BU UIF NJDSPNFUFS MFWFM ćFTF BSF JO TVNNBSZ UIF NBJO GFBUVSFT PG UIF JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF *#*$ NJDSPTDPQZ XIJDI IBT GPVOE XJEFTQSFBE BQQMJDBUJPOT TJODF UIF FBSMZ T <> GPS UIF DIBSBDUFSJ[BUJPO PG FMFDUSPOJD NBUFSJBMT BOE EFWJDFT XJUI DPOTJEFSBCMF SFTFBSDI BDUJWJUJFT DBSSJFE PVU JO NBOZ MBCPSBUP SJFT BT UFTUJĕFE CZ UIF OVNFSPVT QBQFST QVCMJTIFE JO KPVSOBMT BT /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI BOE EFEJDBUFE TFTTJPOT JO JOUFSOBUJPOBM DPOGFSFODFT BT UIF *OUFSOBUJPOBM $POGFSFODF PO /VDMFBS .JDSPQSPCF 5FDIOPMPHZ BOE "QQMJDBUJPOT <> *O UIF MBTU UXFOUZ ZFBST TPNF SFWJFX QBQFST < > BOE UFYUCPPLT <> IBWF CFFO QVCMJTIFE PO UIF FYQFSJNFOUBM TFUVQT NFBTVSFNFOU QSPUPDPMT BOE BQQMJDBUJPOT PG *#*$. *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF UP JNBHF BOE BOBMZTF UIF FMFDUSPOJD QSPQFSUJFT PG NJDSP FMFDUSPOJD EFWJDFT EJTMPDBUJPOT TFNJDPOEVDUPS SBEJBUJPO EFUFDUPST TFNJJOTVMBUJOH NBUFSJBMT IJHI QPXFS USBOTJTUPST DIBSHFDPVQMFE BSSBZT TPMBS DFMMT BOE MJHIUFNJUUJOH EJPEFT JO DPOKVODUJPO XJUI TJOHMF FWFOU VQTFU JNBHJOH ćJT QBQFS GPDVTFT PO TPNF UIFPSFUJDBM BTQFDUT XIJDI BSF OFFEGVM UP QSPWJEF TPMJE JOUFSQSFUBUJPOT PG *#*$ FYQFSJNFOUT BOE SFNBSLBCMF FYBNQMFT PG FMFDUSPOJD DIBSBDUFSJ[BUJPO PG JNQPSUBOU TFNJDPOEVDUPS NBUFSJBMT. $IBSHF *OEVDUJPO BOE 4JHOBM 'PSNBUJPO "T BMSFBEZ TUBUFE JO UIF QSFWJPVT TFDUJPO UIF JOUFSBDUJPO PG BO .F7 JPO XJUI BUPNJD PSCJUBM FMFDUSPOT JO B TFNJDPOEVDUPS QSPEVDFT B IJHI EFOTJUZ PG &)1T BMPOH UIF JPO USBDL ćF EJFMFDUSJD SFMBYBUJPO UJNF EFĕOFE BT UIF QSPEVDU PG UIF SFTJTUJWJUZ UJNFT UIF EJFMFDUSJD DPOTUBOU HJWFT BO FTUJNBUF PG UIF UJNF SFRVJSFE UP SFDPWFS UIF OFVUSBMJUZ PG UIF NBUFSJBM BęFS UIF GSFFDBSSJFS JOKFDUJPO *G UIF NBUFSJBM JT JO UIF SFMBYBUJPO SFHJNF UIBU JT JG UIF EJFMFDUSJD SFMBYBUJPO UJNF JT NVDI MPOHFS UIBO UIF DBSSJFS MJGFUJNF <> JO QSFTFODF PG BO FMFDUSJD ĕFME &)1T QBJST BSF TXFQU PVU PG UIF EFWJDF XJUIPVU SFQMFOJTINFOU GSPN DPOUBDUT ćJT PDDVST JO XJEF CBOEHBQ NBUFSJBMT UIBU JT JOTVMBUPST BT EJBNPOE PS TFNJJOTVMBUPST BT 4J$ PS JO UIF EFQMFUJPO SFHJPO JO QO PS 4DIPUULZ KVODUJPO 6OEFS UIF SFMBYBUJPO SFHJNF UIF TFNJDPOEVDUPS CFIBWFT BT B DBQBDJUPS BOE UIF QSFTFODF PG DIBSHFT JO UIF WPMVNF XIFSF UIF FMFDUSJD ĕFME JT OPU [FSP MFBET UP UIF JOEVDUJPO PG DIBSHF BU UIF FMFDUSPEFT #Z WJSUVF PG UIF QSFTFODF PG UIF FMFDUSJD ĕFME UIF GSFF DBSSJFST ESJę *O NPTU DBTFT UIFJS WFMPDJUZ JT MPX DPNQBSFE UP UIF WFMPDJUZ PG MJHIU TP UIBU UIF NBHOFUJD ĕFME FČFDUT PG UIF NPWJOH DBSSJFST DBO CF OFHMFDUFE BOE UIF FMFDUSJD ĕFME DBO CF SFHBSEFE BT JOTUBOUBOFPVTMZ QSPQBHBUJOH 6OEFS UIFTF BTTVNQUJPOT UIF QSPCMFN DBO CF USFBUFE BT FMFDUSPTUBUJDT BU FBDI NPNFOU PG DIBSHF NPWFNFOU < > *G UIF FYDFTT DIBSHF QSPEVDFE CZ SBEJBUJPO JOUFSBDUJPOT EPFT OPU TJHOJĕ DBOUMZ QFSUVSC UIF FMFDUSJD ĕFME XJUIJO UIF TFNJDPOEVDUPS UIF DIBSHF JOEVDFE BU UIF FMFDUSPEF CZ UIF DBSSJFST HFOFSBUFE CZ JPOJ[BUJPO DBO CF DBMDVMBUFE UISPVHI UIF SFDJQSPDBM (SFFOT UIFPSFN <> .FUIPET GPS DBMDVMBUJPO IBWF CFFO EFWFMPQFE CFUXFFO UIF ZFBST BOE UP FWBMVBUF UIF JOTUBOUBOFPVT WBMVF PG UIF DVSSFOU JOEVDFE CZ NPWJOH DIBSHFT PWFS JUT FOUJSF UJNF PG USBOTJU JO B WBDVVN UVCF <o> UIF WBMJEJUZ PG UIFTF SFTVMUT XBT UIFO FYUFOEFE UP NPSF HFOFSBM DBTFT JO QSFTFODF PG TUBUJPOBSZ TQBDF DIBSHF ćJT UIFPSZ JT UIFO BCMF UP NPEFM UIF DIBSHF QVMTF GPSNBUJPO JO EFQMFUFE SFHJPOT PG BOZ TFNJDPOEVDUPS EFWJDF < > (VOO <> QSPQPTFE JO UIF ZFBS BO FYQSFTTJPO EFEVDFE VOEFS HFOFSBM DPOEJUJPOT GPS UIF FWBMVBUJPO PG UIF DIBSHFT JOEVDFE VQPO B TZTUFN PG DPOEVDUPST CZ UIF NPUJPO PG B TNBMM DIBSHF OFBSCZ "DDPSEJOH UP UIF (VOO UIFPSFN UIF DVSSFOU JOEVDFE CZ B NPWJOH DIBSHF ਟ PO UIF ਗUI FMFDUSPEF JO B TZTUFN DPOTJTUJOH PG NVMUJQMF FMFDUSPEFT JT ৾ਗ ! ѣਟ Ԗ ਤၟ Ԗ. ၠ ಽ৺ ಽ਋ਗ. .

(3) *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF. . XIFSF ਤၟ JT UIF WFMPDJUZ WFDUPS PG UIF NPWJOH DIBSHF BOE ၠ ಽ৺ಽ਋ ਗ JT UIF i(VOOT XFJHIUJOH ĕFME w XIJDI JT EFĕOFE BT UIF EFSJWBUJWF PG UIF FMFDUSJD ĕFME EVF UP UIF CJBT WPMUBHF ਋ਗ BQQMJFE BU UIF ਗUI FMFDUSPEF XIJMF UIF WPMUBHF JT LFQU DPOTUBOU PO BMM UIF PUIFS FMFDUSPEFT ćF FYQSFTTJPO JT TVďDJFOUMZ HFOFSBM UP CF VTFE XIFO TQBDF DIBSHFT PG WBSJBCMF NBHOJUVEF BSF QSFTFOU BOE IFODF BQQMJDBCMF UP BOZ TFNJDPOEVDUPS KVODUJPO XIBUFWFS JT UIFJS QPMBSJ[BUJPO TUBUF < > *O PSEFS UP FWBMVBUF UIF UPUBM DIBSHF ਆਗ JOEVDFE BU UIF ਗUI FMFDUSPEF JU JT TVďDJFOU UP JOUFHSBUF JO UJNF UIBU JT ਢ. ͅ. ͅ. ਠ৻. ਆਗ

(4) ਢ ! ࿑ ৾ਗ Ⴋਢ Ⴙ ਓਢ ! ѣਟ Ԗ ࿑. ਠ৾. . ၠ ಽ৺ Ԗ ਓΠ΀ ಽ਋ਗ. . ಽɬ ಽɬ !ਟԖი ሡ ѣ ሡ ჟ ಽ਋ਗ ਠ৻ ಽ਋ਗ ਠ৾ XIFSF ਠ৻ BOE ਠ৾ BSF UIF DIBSHF ĕOBM BOE JOJUJBM QPTJUJPOT BU UJNF ਢ BOE SFTQFDUJWFMZ ćF JOEVDFE DIBSHF JT UIFO TJNQMZ HJWFO CZ UIF EJČFSFODF JO UIF (VOOT XFJHIUJOH QPUFOUJBM ಽɬಽ਋ਗ CFUXFFO BOZ UXP QPTJUJPOT PG UIF NPWJOH DIBSHF < > ćF QSPDFEVSF UP DBMDVMBUF UIF DIBSHF BT B GVODUJPO PG UJNF JT UIF GPMMPXJOH * ćF FMFDUSPTUBUJD QPUFOUJBM BOE FMFDUSJD ĕFME EJTUSJCV UJPOT IBWF ĕSTU UP CF FWBMVBUFE CZ TPMWJOH UIF SFMFWBOU 1PJTTPOT BOE DPOUJOVJUZ FRVBUJPOT PG FMFDUSPOT BOE IPMFT XJUI TVJUBCMF CPVOEBSZ DPOEJUJPOT ** ćF (VOOT XFJHIUJOH ĕFME (8' BOE QPUFOUJBM IBWF UP CF FWBMVBUFE CZ EJČFSFOUJBUJOH UIF BDUVBM QPUFOUJBM ɬ XJUI SFTQFDU UP UIF QPUFOUJBM BU UIF ਗUI FMFDUSPEF *** 'JOBMMZ UIF JOEVDFE DIBSHF JT FWBMVBUFE CZ DBMDVMBUJOH UIF (8' BU UIF JOJUJBM BOE ĕOBM QPJOUT PG UIF DBSSJFS USBKFDUPSZ ćF WBMJEJUZ PG BOE DBO CF FBTJMZ FYUFOEFE UP UIF DBTF PG B DPOUJOVPVT EJTUSJCVUJPO PG FYDFTT GSFF DBSSJFST FMFDUSPOT PS IPMFT BT GPMMPXT ਢ. ͅ. ਆਗ

(5) ਢ ! ѣਟ Ԗ ࿑ ਓਢ ࿑ ਓ ਠ჉ਦ

(6) ਠ΀ ਢ Ԗၡ ਤਦ

(7) ਠ ΀ Ԗ . ɭ. ၠ ਠ ΀ ಽ৺

(8) ა ಽ਋ਗ. . XIFSF ɭ JT UIF WPMVNF PG UIF TFNJDPOEVDUPS BOE ਦ JT UIF FYDFTT DBSSJFS DPODFOUSBUJPO XIPTF FWPMVUJPO DBO CF DBMDVMBUFE CZ TPMWJOH UIF FMFDUSPOIPMF DPOUJOVJUZ FRVBUJPOT <> "O FďDJFOU NFUIPE OBNFMZ UIF iBEKPJOU NFUIPE w UP FWBMVBUF UIF JOEVDFE DIBSHF JO UIF XIPMF TFNJDPOEVDUPS WPMVNF XBT QSPQPTFE CZ 1SFUUZNBO < > BOE BEPQUFE CZ PUIFS BVUIPST < > ćJT NFUIPE JT CBTFE PO UIF MJOFBSJ[BUJPO PG UIF DPOUJOVJUZ FRVBUJPOT PG FMFDUSPOT BOE IPMFT JU UVSOT PVU UIBU JT UIF (SFFOT GVODUJPO PG UIF DBSSJFS FMFDUSPO PS IPMF DPOUJOVJUZ FRVBUJPOT BTTVNJOH B ၠ ਠ ಽ਋ ΀ HFOFSBUJPO UFSN FRVBM UP ৼਦ ! ၡ ਤਦ

(9) ਠ ΀ Ԗ

(10) ಽ৺

(11) ਗ "T B DPOTFRVFODF UIF DPOUSJCVUJPO PG FMFDUSPOT BOE IPMFT UP UIF JOEVDFE DIBSHF DBO CF FWBMVBUFE CZ TPMWJOH UIF BEKPJOU FRVBUJPO PG UIF SFMFWBOU DPOUJOVJUZ FRVBUJPOT. ćF DPNQMFUF NBQ GPS BOZ QPJOU JO UIF TFNJDPOEVDUPS EPNBJO PG JOEVDFE DIBSHF JT UIFO PCUBJOFE CZ TPMWJOH B VOJRVF GPS FBDI DBSSJFS QBSUJBM EJČFSFOUJBM FRVBUJPO CZ OVNFSJDBM UZQJDBMMZ UIF ĕOJUF FMFNFOU '&. NFUIPET 'JOBMMZ UIF LOPXMFEHF PG UIF JOEVDFE DIBSHF NBQ ਆ BMMPXT UIF FWBMVBUJPO PG UIF UJNF FWPMVUJPO PG UIF JOEVDFE DIBSHF HFOFSBUFE XJUI BO BSCJUSBSZ EJTUSJCVUJPO PG OPOJOUFSBDUJOH QBSUJDMFT *U JT XPSUI VOEFSMZJOH UIBU UIF WBMJEJUZ PG UIJT BQQSPBDI TUFNT GSPN UIF TVQFSQPTJUJPO QSJODJQMF XIJDI EFSJWFT GSPN UIF BTTVNQUJPO UIBU UIF CBTJD EJČFSFOUJBM FRVBUJPOT BSF MJOFBS UIBU JT UIF FYDFTT DIBSHF HFOFSBUFE EPFT OPU TJHOJĕDBOUMZ QFSUVSC UIF FMFDUSPTUBUJD ĕFME XJUIJO UIF EFWJDF 4VDI BTTVNQUJPO IPMET POMZ JG MJHIU ) PS )F. JPOT BSF DPOTJEFSFE CVU OPU JO HFOFSBM JO UIF DBTF PG IJHI DBSSJFS JOKFDUJPO JOEVDFE GPS FYBNQMF CZ IFBWZ JPOT UIF 4IPDLMFZ3BNP(VOO BQQSPBDI JT UIFO VOTVJUBCMF UP JOUFSQSFU FČFDUT BT QMBTNB EFMBZ PS GVOOFMMJOH PDDVSSJOH XIFO TFNJDPOEVDUPS EFWJDFT BSF JSSBEJBUFE XJUI IFBWZ JPOT *O UIFTF DBTFT B iUFDIOPMPHZ DPNQVUFS BJEFE EFTJHO 5$"%. CBTFE BQQSPBDIw JT VTVBMMZ BEPQUFE XIJDI TPMWFT UIF 1PJTTPO FRVBUJPO DPOUJOVJUZ FRVBUJPOT BOE USBOTQPSU NPEFMT TFMG DPOTJTUFOUMZ <> "O BMUFSOBUJWF .POUF $BSMP BQQSPBDI UP SFBMJTUJDBMMZ NPEFM UIF JOEVDFE DIBSHF QVMTF GPSNBUJPO IBT CFFO SFDFOUMZ QSFTFOUFE CZ 0MJWFSP FU BM <> 4UBSUJOH GSPN UIF FWBMVBUJPO PG UIF (VOOT XFJHIUJOH QPUFOUJBM CZ TPMWJOH UIF FMFDUSPTUBUJD QSPCMFN CZ UIF ĕOJUF FMFNFOU NFUIPE UIF GSFF DBSSJFS USBKFDUPSJFT BSF EFUFSNJOFE CZ UIF SBOEPN XBML NFUIPE ĕOBMMZ UIF JOEVDFE DIBSHF BU UIF TFOTJOH FMFDUSPEF JT UIFO FWBMVBUFE CZ NFBOT PG ćF BEWBOUBHF PG UIJT NFUIPE JT UIBU JU JT TVJUBCMF UP TJNVMBUF QSPCMFNT JOWPMWJOH WBSJBCMFT GPMMPXJOH TUPDIBTUJD EJTUSJCVUJPOT BT UP TJNVMBUF FMFDUSPOJD OPJTF TUBUJTUJDBM ĘVDUVBUJPOT JO DBSSJFS HFOFSBUJPO PS SBO EPNMZ EJTUSJCVUFE SFDPNCJOBUJPO DFOUSFT. *PO #FBN *OEVDFE $IBSHF .JDSPTDPQZ *#*$ NJDSPTDPQZ VTFT GPDVTFE .F7 MJHIU JPO UZQJDBMMZ ) PS )F CFBNT JO MPX DVSSFOU NPEF UIBU JT VTJOH BO JPO DVSSFOU PG UIF PSEFS PG GSBDUJPOT PG G" DPSSFTQPOEJOH UP B DPVOU SBUF PG GFX L)[ .BHOFUJD PS FMFDUSPTUBUJD RVBESVQPMF MFOTFT BSF VTFE UP GPDVT UIF CFBN UIF CFTU SFQPSUFE SFTPMVUJPO UP EBUF JT MFTT UIBO ಯN CVU BO JNQSPWFNFOU PG BU MFBTU POF PSEFS PG NBHOJUVEF JT FYQFDUFE JO UIF OFBS GVUVSF <> " NBHOFUJD TDBOOJOH TZTUFN JT VTFE UP TDBO UIF GPDVTFE CFBN PWFS UIF SFHJPO PG JOUFSFTU XIJDI UZQJDBMMZ FYUFOET UP BSFB PG NN 6OMFTT PUIFS NJDSPTDPQZ UFDIOJRVFT BT FMFDUSPO PS PQUJDBM CFBN JOEVDFE DVSSFOUT &#*$ <> BOE 0#*$-#*$ <> SFTQ JOEJWJEVBM DIBSHF QVMTFT BOE OPU DPOUJOVPVT WBSJB UJPOT PG DIBSHF PS DVSSFOUT QSPEVDFE CZ UIF JOUFSBDUJPO PG UIF JPO XJUI UIF TFNJDPOEVDUPS TBNQMF BSF NFBTVSFE JO *#*$ FYQFSJNFOUT ćF DVSSFOU JOEVDFE BU UIF TFOTJOH FMFDUSPEF CZ UIF NPUJPO PG UIF &)1T HFOFSBUFE CZ B TJOHMF JPO JT JOUFHSBUFE BOE BNQMJĕFE CZ B MPXOPJTF FMFDUSPOJD DIBJO EJHJUJ[FE BOE SFDPSEFE CZ B EBUB BDRVJTJUJPO TZTUFN BMPOH XJUI UIF DPSSFTQPOEJOH TQBUJBM DPPSEJOBUFT PG UIF JPO QSPCF %FUBJMT PG UIF OVDMFBS NJDSPQSPCF DPNQPOFOUT BOE PG UIF FYQFSJNFOUBM QSPDFEVSF DBO CF GPVOE JO <>.

(12) . *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF Frontal IBIC. Quadrupole doublet focusing lens. Samp le. am Ion be. Scan. fier ampli. Lateral IBIC Charge. 'ĶĴłĿĲ 4DIFNF PG UIF *#*$ TFUVQ " .F7 JPO CFBN GSPN BO BDDFMFSBUPS JT GPDVTFE CZ B RVBESVQPMF MFOT TZTUFN BOE TDBOOFE PWFS UIF TBNQMF TVSGBDF VTJOH UXP TFUT PG NBHOFUJD PS FMFDUSPTUBUJD QMBUFT ćF JOTFUT PO UIF SJHIU TJEFT TIPX UIF UXP JSSBEJBUJPO HFPNFUSJFT GSPN UIF UPQ GSPOUBM *#*$ BOE GSPN UIF TJEF MBUFSBM *#*$ PG UIF EFWJDF VOEFS BOBMZTJT &BDI JODJEFOU JPO HFOFSBUFT B NFBTVSBCMF DIBSHF QVMTF XIJDI JT BNQMJĕFE BOE QSPDFTTFE CZ B TUBOEBSE DIBSHF TFOTJUJWF FMFDUSPOJD DIBJO ćF EBUB BDRVJTJUJPO TZTUFN BDRVJSFT BOE TUPSFT FWFSZ FWFOU BMPOH XJUI UIF DPPSEJOBUFT PG UIF JPO. ćF JOEVDFE DIBSHF JT UIF VTVBM QIZTJDBM PCTFSWBCMF JNBHFE BT GVODUJPO PG UIF JPO TUSJLF QPTJUJPO ćF SFDFOU EFWFMPQNFOU PG XBWFGPSN EJHJUJ[FST XJUI TVCOBOPTFDPOE UJNF SFTPMVUJPO FOBCMFT UIF TUVEZ PG UIF UJNF FWPMVUJPO PG UIF JOEVDFE DVSSFOU ćJT UFDIOJRVF OBNFMZ UJNF PS USBOTJFOU SFTPMWFE *#*$ 53*#*$ ĕSTU EFWFMPQFE BU UIF 4BOEJB /BUJPOBM -BCPSBUPSJFT <> BMMPXT UIF NFBTVSFNFOU PG UIF DBSSJFS USBOTQPSU QBSBNFUFST NPCJMJUZ BOE MJGFUJNF. CZ UIF EFDPOWPMVUJPO PG UIF USBOTJFOU DVSSFOU QVMTFT BT BO FYBNQMF UIF NFBTVSFNFOU PG UIF SJTFUJNF PG UIF JOUFHSBUFE DIBSHF QVMTF BT GVODUJPO PG UIF JPO TUSJLF QPTJUJPO BOE BU EJČFSFOU BQQMJFE CJBT WPMUBHFT BMMPXT FMFDUSPO BOE IPMF NPCJMJUJFT UP CF NBQQFE <> *#*$ PS 53*#*$ FYQFSJNFOUT DBO CF QFSGPSNFE JO UXP HFPNFUSJDBM DPOĕHVSBUJPOT 'JHVSF GSPOUBM *#*$ BOE MBUFSBM *#*$ *O GSPOUBM *#*$ UIF JPO CFBN JT SBTUFS TDBOOFE POUP UIF TBNQMF FMFDUSPEF UIJT JT UIF USBEJUJPOBM BOE FBTJFS JSSBEJBUJPO HFPNFUSZ VTFE UP PCUBJO UXPEJNFOTJPOBM JNBHFT PG UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ <> *O MBUFSBM *#*$ B DMFBWFE TFNJDPOEVDUPS TBNQMF JT JSSBEJBUFE GSPN UIF TJEF JO PSEFS UP HFOFSBUF DBSSJFST BU EJČFSFOU EFQUIT CFOFBUI UIF FMFDUSPEF TVSGBDFT *U FOBCMFT NPSF JOEFQUI TUVEJFT PG UIF NPUJPO PG JOEVDFE DIBSHFT CZ QSPĕMJOH UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ BT B GVODUJPO PG UIF JPO CFBN QPTJUJPO XJUI SFTQFDU UP UIF TFOTJOH FMFDUSPEF < > *O UIF GPMMPXJOH TPNF TJHOJĕDBOU FYBNQMFT PG NBUFSJBM DIBSBDUFSJ[BUJPO SFMFWBOU UP UIF TFNJDPOEVDUPS NBUFSJBMT NPTU TUVEJFE CZ *#*$ BSF SFWJFXFE ćFZ JMMVTUSBUF UIF QPUFO UJBM PG UIF *#*$ UFDIOJRVF GPS UIF DIBSBDUFSJ[BUJPO PG IPNPHF OFPVT PS QPMZDSZTUBMMJOF NBUFSJBMT BOE CBTJD TFNJDPOEVDUPS EFWJDFT BT NFUBMTFNJDPOEVDUPS JOUFSGBDFT QO KVODUJPOT IFUFSPKVODUJPO JOUFSGBDFT BOE .FUBM0YJEF4FNJDPOEVDUPS TUSVDUVSFT. 4JMJDPO ćF ĕ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ďDJFODZ $$& QSPĕMFT SFMFWBOU UP QSJTUJOF BOE "V DPOUBNJOBUFE EJPEFT *U JT BQQBSFOU UIBU UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ QSPĕMFT TIPX CSPBE QMBUFBVY XJUI WBMVFT DMPTF UP XIJDI XJEFO BT UIF BQQMJFE CJBT WPMUBHF JODSFBTFT ćF SFHJPO XIFSF UIF FMFDUSJD ĕFME JT BCTFOU TIPXT FYQPOFOUJBMMZ EFDSFBTJOH QSPĕMFT " TJNQMF ESJęEJČVTJPO NPEFM BMMPXFE UIF FYUSBDUJPO PG UIF FMFDUSPOJD GFBUVSFT PG UIF EFWJDF XIJDI XBT BSCJUSBSZ EJWJEFE JO UXP NBJO SFHJPOT ćF ĕSTU SFHJPO JT XIFSF UIF FMFDUSJD ĕFME JT IJHI BOE UIF DBSSJFS WFMPDJUZ JT DMPTF UP TBUVSBUJPO ćJT NFBOT UIBU BMM UIF DBSSJFST DSPTT UIF FOUJSF EFQMFUJPO SFHJPO UIF SFHJPO XJUI B OPOOVMM FMFDUSJD ĕFME. TJODF UIF ESJę UJNF JT NVDI TIPSUFS UIBO UIF DBSSJFS MJGFUJNF ćF NFBTVSFNFOU PG UIF FWPMVUJPO PG UIF $$& QMBUFBV XJEUI BT GVODUJPO PG UIF BQQMJFE CJBT WPMUBHF BMMPXFE UIF EFQMFUJPO MBZFS XJEUI UP CF FTUJNBUFE BOE DPNQBSFE XJUI UIF TUBOEBSE $BQBDJUBODF7PMUBHF NFBTVSFNFOUT VTVBMMZ DBSSJFE PVU GPS UIF EFUFSNJOBUJPO PG UIF CVML EPQJOH QSPĕMF ćF DBSSJFS USBOTQPSU JO UIF TFDPOE SFHJPO JT EPNJOBUFE CZ UIF EJČVTJPO NFDIBOJTN $IBSHF DBSSJFST HFOFSBUFE JO UIJT SFHJPO XIFSF OP FMFDUSJD ĕFME PDDVST EJČVTF UPXBSET.

(13) *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF. . 5 MeV proton beam P type 50 m. Emitter. Base. N type. Preamplifier Depletion region. 1. 2. 550 μm. 1. Bias voltage = 20.3 V Collection efficiency. Collection efficiency. 1 0.8 0.6 0.4 0.2 0. Bias voltage = 60.4 V. 0.8 0.6 0.4 0.2 0. 0. 50. 100. 150. 200. 250. 300. 0. 350. 50. 100. 150. 1 28 V 60.4 V. 0.4. = (27.3 ± 0.8) m = (0.57 ± 0.03) s. 0.2. 250. 300. 350. (b). 90.6 V 117.5 V. Collection efficiency. Collection efficiency. (a) 1 0.8 0.6. 200. Depth ( m). Depth ( m). 58.7 V. 0.8 20.3 V. 0.6 0.4. = (61.4 ± 0.8) m = (2.9 ± 0.08) s 0.2. 0.1 0.08. 71.3 V 41.7 V. 50. 100. 150. 200. 250. Depth ( m) (c). 50. 100. 150. 200. 250. Depth ( m) (d). 'ĶĴłĿĲ 5PQ TDIFNBUJDT PG UIF FYQFSJNFOUBM TFUVQ $IBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ QSPĕMFT GSPN MBUFSBM *#*$ FYQFSJNFOUT PO Q

(14) OO

(15) TJMJDPO EJPEF XJUIPVU B E BOE XJUI C D "V DPOUBNJOBUJPO B C -JOMJO TDBMF BU ĕYFE CJBT WPMUBHF E D -JOMPH TDBMF BU EJČFSFOU CJBT WPMUBHFT 'PS EFUBJMT TFF <> ਁਞ )PMF EJČVTJPO MFOHUI ಷ )PMF MJGFUJNF. UIF EFQMFUJPO SFHJPO XIFSF UIFZ BSF TVCTFRVFOUMZ JOKFDUFE JO UIF EFQMFUJPO SFHJPO BMMPXJOH UIF JOEVDFE DIBSHF TJHOBM UP CF GPSNFE ćF FTUJNBUF PG UIF EFDBZ SBUF BMMPXFE UIF EJČVTJPO MFOHUI PG UIF NJOPSJUZ DBSSJFST JO UIF CVML PG UIF EFWJDF UP CF NFBTVSFE "T BO FYBNQMF 'JHVSF FMBCPSBUFE GSPN <>. TIPXT MJGFUJNF LJMMJOH FČFDUT JOEVDFE PO UIF TBNF EJPEF CZ "V DPOUBNJOBUJPO "ęFSXBSET B NPSF SFĕOFE NPEFM CBTFE PO UIF 4IPDLMFZ 3BNP UIFPSFN XBT JNQMFNFOUFE GPS UIF BOBMZTJT PG EJPEFT XJUI OPODPOTUBOU EPQJOH QSPĕMFT <> )PXFWFS B.

(16) DPNQSFIFOTJWF NPEFM XIJDI EJE OPU BDDPVOU GPS UIF BSUJĕDJBM EJWJTJPO JO SFHJPOT XJUI EJČFSFOU USBOTQPSU NFDIBOJTNT XBT EFWFMPQFE GFX ZFBST MBUFS PO UIF CBTJT PG UIF (VOOT UIFPSFN <> BOE XBT TVDDFTTGVMMZ BQQMJFE GPS UIF JOUFSQSFUBUJPO PG MBUFSBM *#*$ FYQFSJNFOUT <> BOE PG UJNF SFTPMWFE *#*$ NFBTVSFNFOUT DBSSJFE PVU PO TJNJMBS EJPEFT <> ćF JNQPSUBODF PG EJČVTJPO JO UIF GPSNBUJPO PG UIF JOEVDFE DIBSHF TJHOBM XBT JOWFTUJHBUFE CZ (VP FU BM <> CZ VTJOH UIF iEJČVTJPOUJNFSFTPMWFE JPOCFBNJOEVDFE DIBSHF DPMMFDUJPOw %53*#*$$ UFDIOJRVF UP NFBTVSF UIF BWFSBHF BSSJWBM UJNF PG UIF EJČVTFE DIBSHF JO TQFDJBMMZ EFTJHOFE TUSJQFMJLF UFTU KVODUJPOT VTJOH .F7 $ JPO NJDSPCFBN 'SPOUBM *#*$ XBT FYUFOTJWFMZ VTFE UP DIBSBDUFSJ[F IJHI QPXFS EJPEFT XIFSF JO UIF EFTJHO QSPDFTT UIF LOPXMFEHF PG UIF FMFDUSJDBM ĕFME TUSFOHUI EJTUSJCVUJPO JT DSVDJBM JO PSEFS UP PQUJNJ[F UIF UFSNJOBUJPO TUSVDUVSF GPS FYBNQMF UIF ĘPBUJOH SJOH UFSNJOBUJPO *O UIFTF FYQFSJNFOUT UIF MPOH SBOHF QSPCJOH EFQUIT PG .F7 QSPUPOT XFSF FYQMPJUFE UP JOWFTUJHBUF QO KVODUJPOT MPDBUFE UFOT PG NJDSPNFUFST CFMPX UIF TVSGBDF UP BDIJFWF TVďDJFOUMZ IJHI CSFBLEPXO WPMUBHFT PG UIF PSEFS PG L7 < > 4JMJDPODIBSHFE QBSUJDMF EFUFDUPST BT QBTTJWBUFE JNQ MBOUFE QMBOBS TJMJDPO 1*14 QSPEVDFE CZ EJČVTFEKVODUJPO PS TVSGBDF CBSSJFS UFDIOPMPHJFT IBWF CFFO FYUFOTJWFMZ TUVEJFE CZ *#*$ UFDIOJRVF UP FWBMVBUF UIF EFUFDUPS SFTQPOTF BOE JUT EFQFOEFODF PO PQFSBUJOH CJBT BOE UP RVBOUJGZ JPO FOFSHZ MPTT JO UIF EFBE MBZFS BOE MPTT PG UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ EVF UP USBQQJOH DFOUSFT <> 4JNJMBSMZ BDDVSBUF BOBMZTFT PG TJMJDPO 1*/ QIPUPEJPEFT IBWF CFFO DBSSJFE PVU CFDBVTF PG UIFJS XJEFTQSFBE BQQMJDB UJPOT OPU POMZ MJNJUFE UP QIPUPO EFUFDUJPO JO UIF PQUJDBM SFHJPO CVU OPX FYUFOEFE UP OVDMFBS SBEJBUJPO 9 BOE HBNNBSBZT DIBSHFE QBSUJDMFT EFUFDUJPO <> XJUI TQFDUSP TDPQJD QFSGPSNBODFT DPNQBSBCMF XJUI EFEJDBUFE TFNJDPO EVDUPS EFUFDUPST BOE XJUI B NPSF DPNQFUJUJWF QSJDFRVBMJUZ WBMVF " SFNBSLBCMF FYBNQMF PG *#*$ BQQMJDBUJPO BOE B TJNQMF CVU TJHOJĕDBOU JOUFSQSFUBUJPO PG UIF FYQFSJNFOUBM SFTVMUT BSF HJWFO CZ UIF TUVEZ PG UIF JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF JO .FUBM 0YJEF4FNJDPOEVDUPS .04 TUSVDUVSFT XIJDI BSF POF PG UIF NBJO CVJMEJOH CMPDLT PG NJDSPFMFDUSPOJD DJSDVJUT 8IFO DBSSJFST BSF FYQPTFE UP IFBWZ IJHI FOFSHZ JPOT UIF NPWFNFOU PG DBSSJFST HFOFSBUFE CZ JPOJ[BUJPO SFTVMUT JO B DIBOHF PG UIF WPMUBHF PO UIF FMFDUSPEFT XIJDI DBO MFBE UP UIF DIBOHF PG UIF MPHJDBM TUBUF PG UIF NJDSPDJSDVJU OBNFMZ TJOHMF FWFOU VQTFU 4&6 ćJT JT XIBU IBQQFOT GPS FYBNQMFT JO NJDSPDJSDVJUT XPSLJOH JO TBUFMMJUFT PS TQBDFDSBęT XIJDI BSF FYQPTFE UP IJHI FOFSHZ DPTNJD SBEJBUJPO <> ćF TJMJDPOPOJOTVMBUPS 40* UFDIOPMPHZ XBT TVQQPTFE UP CF MFTT QSPOF UP 4&6 GSPN IFBWZ JPO TUSJLFT UIBO CVML TJMJDPO DJSDVJUT TJODF UIF DBSSJFST HFOFSBUFE JO UIF BDUJWF SFHJPO BSF POMZ B TNBMM GSBDUJPO PG UIF UPUBM DIBSHF HFOFSBUFE CZ JPOJ[BUJPO )PXFWFS BO VOFYQFDUFE DIBSHF DPMMFDUJPO XBT PCTFSWFE JO 40* EFSJWJOH GSPN UIF DIBSHFT HFOFSBUFE CFMPX UIF CVSJFE PYJEF <> BOE TVDDFTTJWFMZ DPOĕSNFE BOE BOBMZTFE JO EFUBJMT CZ *#*$ BOE 53*#*$ NFBTVSFNFOUT <> ćF JOUFSQSFUBUJPO PG UIFTF SFTVMUT XBT ĕSTU DBSSJFE PVU CZ 5$"% TJNVMBUJPOT <> IPXFWFS BO FYIBVTUJWF FYQMBOBUJPO PG UIF DIBSHF JOEVDUJPO JO .04 TUSVDUVSFT IBT CFFO QSPQPTFE CZ 7J[LFMFUIZ FU BM. *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF Dislocation line. (b). (c). 10 m. 'ĶĴłĿĲ C 0QUJDBM QIPUPHSBQI PG UIF TPMBS DFMMT TBNQMF BOE D. JT UIF DPSSFTQPOEJOH *#*$ JNBHF XJUIJO UIF XIJUF CPY JO C XIJDI DPOUBJOT B EJTMPDBUJPO MJOF (SFZ JOEJDBUFT IJHI DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ BOE SFE JOEJDBUFT QPPSFS DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ 3FQSJOUFE GSPN <> XJUI QFSNJTTJPO GSPN &MTFWJFS. <> XIP IBWF EFWFMPQFE BO BOBMZUJDBM NPEFM CBTFE PO UIF 4IPDLMFZ3BNP(VOO UIFPSFN GPS UIF BOBMZTJT PG UIF DIBSHF JOEVDUJPO FďDJFODZ EFQFOEFODF PO UIF BQQMJFE CJBT WPMUBHF GPS EJČFSFOU EPQJOH MFWFMT BOE PYJEF UIJDLOFTTFT "OPUIFS *#*$53*#*$ BQQMJDBUJPO SFMBUFE UP UIF BGPSF NFOUJPOFE .04 BOBMZTJT XBT SFDFOUMZ DBSSJFE PVU CZ "MWFT FU BM <> JO B .04 'JFME&ČFDU 5SBOTJTUPS .04'&5 EFWJDF *O UIJT TUVEZ UIF FMFDUSPOJD TJHOBM JT OPU UIF JOEVDFE DIBSHF BU UIF TFOTJOH FMFDUSPEF QSPDFTTFE CZ B DIBSHF TFOTJUJWF QSFBN QMJĕFS BT JO DPOWFOUJPOBM *#*$ *OTUFBE JU JT UIF NPEVMBUJPO PG UIF TPVSDFESBJO DVSSFOU QSPEVDFE CZ UIF FČFDUJWF DIBOHF PG UIF HBUF WPMUBHF JOEVDFE CZ B TJOHMF JPO TUSJLF )FODF UIF VTF PG B SBTUFS TDBOOJOH .F7 JPO CFBN DBO QSPWJEF NBQT PG UIF EFWJDF TFOTJUJWJUZ UP JPOJ[BUJPO SBEJBUJPO JNQBDU SFTVMUJOH JO BO PQUJNJ[BUJPO PG UIF EFTJHO PG TQBDF FMFDUSPOJDT PS JO UIF DIBSBDUFSJ[BUJPO PG NJDSPEPTJNFUFS BSDIJUFDUVSFT (SBJO CPVOEBSZ FČFDUT JO QPMZDSZTUBMMJOF TJMJDPO TPMBS DFMMT IBWF CFFO BOBMZTFE CZ *#*$ JO OVNFSPVT SFTFBSDIFT <o > ćFTF UXPEJNFOTJPOBM CPVOEBSJFT CFIBWF BT SFDPNCJ OBUJPO BOEPS USBQQJOH DFOUSFT CFDBVTF UIFZ BDDPNNPEBUF IJHI DPODFOUSBUJPO PG TUSBJOFE 4J4J CPOET BOE EBOHMJOH CPOET BOE BSF QSFGFSFOUJBM TJUFT GPS TFHSFHBUJPO PG JNQVSJUJFT "T BO FYBNQMF 'JHVSF TIPXT UIF PQUJDBM JNBHF BOE UIF SFM FWBOU *#*$ NBQ PG B O Q QPMZDSZTUBMMJOF TPMBS DFMM JSSBEJBUFE XJUI .F7 )F JPOT ćF JOIPNPHFOFJUZ PG UIF *#*$ SFTQPOTF JT DMFBSMZ EVF UP UIF QSFTFODF PG TUSPOH SFDPNCJOBUJPO FČFDUT PDDVSSJOH BU UIF HSBJO CPVOEBSZ )PXFWFS JU JT XPSUIXIJMF UP OPUJDF UIBU UIF MPXFďDJFODZ SFHJPO JOEJDBUFE CZ SFE DPMPVS JT B EJTMPDBUJPO MJOF XIJDI DPVME OPU CF DMFBSMZ PCTFSWFE JO PQUJDBM NJDSPTDPQZ %POPMBUP FU BM < > IBWF QSPQPTFE BO FďDJFOU NPEFM CBTFE PO UIF EJČVTJPO FRVBUJPO UP FWBMVBUF UIF DIBSHF DPMMFD UJPO FďDJFODZ VOEFS UIF JOĘVFODF BU UIF HSBJO CPVOEBSJFT *OUFS BOE JOUSBHSBJO EFGFDUT IBWF CFFO JOWFTUJHBUFE CZ -FF BOE +BNJFTPO <> QFSGPSNJOH *#*$ FYQFSJNFOUT BU DSZPHFOJD UFNQFSBUVSF ćF IJHI TFOTJUJWJUZ BDIJFWFE JO UIJT XPSL XBT.

(17) *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF. 255. 60 Position C. Position B. Position A. 40 Counts. Charge amplitude (a.u.). 50. 30 20. Position D. 10 0 0. 0 B. 100. 200. 300. 400. 500. 600. 700. Pulse amplitude (a.u.) C. 'ĶĴłĿĲ B *#*$ JNBHF PG B TJOHMF EJBNPOE DSZTUBMMJUF GSPN UIF DPQMBOBS QPMZDSZTUBMMJOF EJBNPOE EFUFDUPS ćF JNBHF XBT BDRVJSFE VTJOH B .F7QSPUPO CFBN BOE XJUI B CJBT WPMUBHF PG 7 ćF DPMPVS TDBMF TIPXT DIBSHF TJHOBM BNQMJUVEF JO BSCJUSBSZ VOJUT ćF JNBHF TJ[F JT ಯN C *#*$ QSPUPO IFJHIU TQFDUSB FYUSBDUFE GSPN SFHJPO MBCFMFE "o% 3FQSJOUFE GSPN <> XJUI QFSNJTTJPO GSPN &MTFWJFS. NBJOMZ EVF UP UIF EFDSFBTJOH PG UIF TQFDJNFOT DBQBDJUBODF SFTVMUJOH JO B SFNBSLBCMF JNQSPWFNFOU PG UIF TJHOBMUPOPJTF SBUJP .PSFPWFS UIF EFDSFBTF PG UIF MFBLBHF DVSSFOU BMMPXFE UIF NFBTVSFNFOU PG UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ BMTP JO SFWFSTF BOE GPSXBSE CJBT DPOEJUJPOT #PSKBOPWJʉ FU BM < > DBSSJFE PVU *#*$ FYQFSJNFOUT PO FEHFEFĕOFE ĕMNGFE HSPXO &'( QPMZDSZTUBMMJOF TJMJDPO TBNQMFT UP DPSSFMBUF UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ XJUI PYZHFO TFHSFHBUFE DMPTF UP TUSVDUVSBM EFGFDUT ćF DPSSFMBUJPO PG *#*$ NBQT XJUI USBDF JNQVSJUZ EJTUSJCVUJPOT FWBMVBUFE CZ NFBOT PG QBSUJDMF JOEVDFE 9SBZ FNJTTJPO 1*9& JT TUJMM DPOUSPWFSTJBM 8JUIBN FU BM <> PCTFSWFE UIBU JO TPNF SFHJPOT PG B QPMZDSZTUBMMJOF TJMJDPO TPMBS DFMM MPX *#*$ Fď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ćF SFDFOU BWBJMBCJMJUZ PG TZOUIFUJD TBNQMFT HSPXO VOEFS DPOUSPMMFE DPOEJUJPOT CZ DIFNJDBM WBQPVS EFQPTJUJPO $7% UFDIOJRVF NBLFT QPTTJCMF OFX. PQQPSUVOJUJFT GPS UIF GBCSJDBUJPO BOE BQQMJDBUJPO PG EJBNPOE EFUFDUPST <> 4JODF UIF FBSMZ T IJHI QVSJUZ QPMZDSZTUBMMJOF $7% EJBNPOE TBNQMFT IBWF CFFO BWBJMBCMF GPS UIF GBCSJDBUJPO PG OVDMFBS EFUFDUPST )PXFWFS UIF QPMZDSZTUBMMJOF OBUVSF PG UIF TBNQMFT TUSPOHMZ BČFDUFE UIF QFSGPSNBODFT PG UIF EFUFDUPS JO UFSNT PG DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ BWFSBHF WBMVF BOE EBUB EJTQFSTJPO <> ćF DPOĕSNBUJPO UIBU UIF QFSGPSNBODFT PG UIFTF EJBNPOE EFUFDUPST XFSF EFUFSNJOFE CZ UIF QPMZ DSZTUBMMJOF OBUVSF PG UIF NBUFSJBM XBT HJWFO CZ B ĕSTU *#*$ FYQFSJNFOU JO <> BOE TJODF UIFO B DPOTJEFSBCMF OVNCFS PG XPSLT XFSF EFWPUFE UP UIF TUVEZ CZ *#*$ PG DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ JOIPNPHFOFJUJFT JO $7% QPMZDSZTUBMMJOF EJBNPOE EFUFDUPST < o> " NFBOJOHGVM FYBNQMF PG *#*$ JNBHF JT HJWFO JO 'JHVSF XIJDI TIPXT BO *#*$ JNBHF PG B MBSHF DSZTUBMMJUF BCPVU ಯN JO B EJBNPOE TBNQMF ćF DFOUSBM SFHJPO PG UIF DSZTUBMMJUF DMFBSMZ TIPXT B VOJGPSN BSFB PG NBYJNVN QVMTF IFJHIU XIFSFBT UIF FEHFT PG UIF DSZTUBMMJUF BSF NBSLFE CZ B TIBSQ ESPQ JO TJHOBM BNQMJUVEF DPSSFTQPOEJOH UP CPVOEBSZ SFHJPOT XIFSF UIF EFQPTJUFE DIBSHF IBT B WFSZ TIPSU ESJę MFOHUI " NPEFM PG DIBSHF USBQQJOHSFDPNCJOBUJPO QIFOPNFOB XBT QSPQPTFE CZ .JMB[[P BOE .BJOXPPE <> "O FďDJFOU NFUIPE UP NJUJHBUF UIF FČFDUT PG HSBJO CPVOEBSJFT XBT QSPQPTFE CZ )FBSOF FU BM <> XIP TIPXFE UIBU UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ PG QPMZDSZTUBMMJOF $7% EJBNPOE EFUFDUPST JODSFBTFT XJUI JODSFBTJOH UFNQFSBUVSF 8IFO UIJT USBQQFE DIBSHF JT SFMFBTFE CZ IFBUJOH UIF EFUFDUPS EVSJOH UIF DPMMFDUJPO PG JOEVDFE DIBSHF UIF MPDBM FMFDUSJD ĕFME CFDPNFT TUSPOHFS BOE NPSF VOJGPSN DBVTJOH UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ UP JODSFBTF 'JHVSF 0UIFS *#*$ BOBMZTFT JOEJDBUFE UIBU MJHIU JMMVNJOBUJPO DPO USJCVUFT UP BWPJE QPMBSJ[BUJPO FČFDUT JF UIF EPTFEFQFOEFOU EFDSFBTF PG $$& EVF UP UIF DBQUVSF PG DBSSJFST CZ EFFQ USBQT BOE UIF TVCTFRVFOU CVJMEVQ PG TQBDF DIBSHF XJUIJO UIF NBUF SJBM BOE UP JNQSPWF EJBNPOE OVDMFBS EFUFDUPS QFSGPSNBODFT BOE SFTQPOTF VOJGPSNJUZ <> "T BO FYBNQMF 'JHVSF TIPXT.

(18) *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF +400 V. Increasing efficiency. . Gnd.. Gnd.. − 400 V. Gnd.. − 400 V. 80 ◦ C. 135 ◦ C. B. C. +400 V. Gnd.. Gnd.. − 400 V. 165 ◦C D. 'ĶĴłĿĲ *PO CFBN JOEVDFE DIBSHF NBQT VTJOH B TDBOOFE .F7 )F NJDSPQSPCF DPMMFDUJPO JO $7% EJBNPOE BU WBSJPVT UFNQFSBUVSFT ćF MPDBUJPO PG UIF FMFDUSPEFT JT TIPXO /PUF UIBU UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ JT BMXBZT IJHIFTU OFBS UP UIF BOPEF 3FQSJOUFE XJUI QFSNJTTJPO GSPN <> $PQZSJHIU "NFSJDBO *OTUJUVUF PG 1IZTJDT. CCE. CCE 30. 30. 27.5. 27.5. 25. 25. 22.5. 22.5. 20. 20. 17.5. 17.5. 15. 15. 12.5. 12.5. 10. 10. 7.5. 7.5. 5. 5. B. C. . 'ĶĴłĿĲ *#*$ NBQT VTJOH .F7 ) JPO NJDSPCFBN PG B QPMZDSZTUBMMJOF $7% EJBNPOE EFUFDUPS JO EBSL DPOEJUJPOT C BOE VOEFS CMVF ON MJHIU JMMVNJOBUJPO B ćF JNBHF TJ[F JT ಯN 'PS EFUBJMT TFF < >. UIF FWPMVUJPO PG UIF *#*$ NBQT PG B QPMZDSZTUBMMJOF EJBNPOE EFUFDUPS GSPN EBSL UP JMMVNJOBUJPO CMVF MJHIU DPOEJUJPOT *O PSEFS UP DPSSFMBUF JOEVDFE DIBSHF NBQT XJUI UIF EJT USJCVUJPO PG SBEJBUJWF BT XFMM BT OPOSBEJBUJWF SFDPNCJOBUJPO DFOUSFT BDSPTT MBSHF BSFBT PG B $7% EJBNPOE ĕMN NBQT PG MVNJOFTDFODF JOEVDFE CZ JPO CFBNT *#*- UFDIOJRVF XFSF TJNVMUBOFPVTMZ BDRVJSFE BMPOH XJUI *#*$ NBQT < > ćF EFWFMPQNFOU PG UIF $7% UFDIOJRVFT JO SFDFOU ZFBST MFE UP UIF TZOUIFTJT PG TJOHMF DSZTUBM EJBNPOE EFUFDUPST XJUI QFSGPSNBODFT TJNJMBS UP PS FWFO CFUUFS UIBO QFSGPSNBODFT PG OBUVSBM HFNT <> 'PS UIFTF TBNQMFT UIF SFTQPOTF JT VOJGPSN PWFS UIF XIPMF BDUJWF EFUFDUPS BSFB BOE $$& DBO CF BDIJFWFE BU FMFDUSJD ĕFME TUSFOHUIT " 7ԖಯNѣ <o>. ćF BCTFODF PG HSBJO CPVOEBSJFT BMMPXFE UIF NFBTVSF NFOUT PG UIF FČFDUT PG TUSVDUVSBM JNQFSGFDUJPOT BOE JNQVSJUJFT PO UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ PG $7% TJOHMF DSZTUBM EJBNPOE TBNQMFT ćJT XBT TVDDFTTGVMMZ BDDPNQMJTIFE CZ -PITUSPI FU BM <> *O UIBU XPSL BVUIPST DMFBSMZ DPSSFMBUF SFHJPOT PG SFEVDFE $$& XJUI UIF QSFTFODF PG OJUSPHFO BOE EJTMPDBUJPOT FWJEFODFE CZ QIPUPMVNJOFTDFODF NBQQJOH XIJDI BDU BT FďDJFOU FMFDUSPOIPMF SFDPNCJOBUJPO DFOUSFT *#*$ IBT QSPWJEFE WBMVBCMF JOTJHIUT OPU POMZ GPS UIF EFWFMPQNFOU PG EJBNPOE EFUFDUPST BT USBDLFST JO IJHI FOFSHZ QIZTJDT FYQFSJNFOUT <> CVU BMTP JO UIF ĕFME PG EPTJNFUSZ *O GBDU JUT VOJRVF QSPQFSUJFT TVDI BT DIFNJDBM JOFSUOFTT CJPDPNQBUJCJMJUZ SBEJBUJPO IBSEOFTT BOE BCPWF BMM JUT UJTTVF.

(19) *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF bias. . = 0V. bias. = 5V. bias. = 10 V. bias. = 15 V. bias. = 20 V. 50 bias. = 25 V. bias. = 30 V. bias. = 40 V. bias. = 50 V. bias. = 60 V. CCE (%). 100. 0 14. 100. 12. ( m). Mean CCE (%). 80. 60. 10 8. 40 6 20. 4 30. 35. 40. 45. 50. 0. 10. axis ( m) 40 V 50 V 60 V. 0V 10 V 20 V 30 V (a). 20. 30. 40 (V). 50. 60. 70. Fit Data (b). 'ĶĴłĿĲ 5PQ MBUFSBM *#*$ NBQT SFMFWBOU UP EJČFSFOU CJBT WPMUBHFT 4DIPUULZ DPOUBDU JT PO UIF MFę TJEF PINJD DPOUBDU PO UIF SJHIU TJEF B. $$& QSPĕMFT BU EJČFSFOU CJBT WPMUBHFT C 1MPU PG UIF FYUFOTJPO PG UIF EFQMFUJPO SFHJPO BT FWBMVBUFE GSPN UIF *#*$ NBQT BT B GVODUJPO PG BQQMJFE CJBT WPMUBHF 3FQSJOUFE GSPN <> XJUI QFSNJTTJPO GSPN +PIO 8JMFZ BOE 4POT. FRVJWBMFODF NBLF EJBNPOE NPSF TVJUBCMF UIBO BOZ PUIFS TPMJETUBUF EPTJNFUFS <> " SFDFOU FYBNQMF PG *#*$ BQQMJDBUJPO GPS UIF DIBSBDUFSJ [BUJPO PG TJOHMF DSZTUBM EJBNPOE EPTJNFUFS JT HJWFO CZ MBUFSBM *#*$ FYQFSJNFOUT DBSSJFE PVU UP JOWFTUJHBUF B IPNPFQJUBYJBM EJBNPOE 4DIPUULZ EJPEF EFUFDUPS <> 'JHVSF TIPXT UIF FWPMVUJPO PG *#*$ NBQT BT GVODUJPO PG UIF BQQMJFE CJBT "T BMSFBEZ PCTFSWFE JO UIF DBTF PG 4J QO KVODUJPO EJPEF UIF XIPMF DIBSHF HFOFSBUFE JO UIF EFQMFUJPO SFHJPO JT DPMMFDUFE CZ ĕUUJOH UIF FYUFOTJPO PG UIF EFQMFUJPO SFHJPO BT GVODUJPO PG UIF BQQMJFE CJBT WPMUBHF UIF CVJMUJO QPUFOUJBM BOE IFODF UIF BWFSBHF EPQJOH DPODFOUSBUJPO XFSF FTUJNBUFE SFTVMUJOH JO BO FYDFMMFOU BHSFFNFOU XJUI PUIFS FMFDUSJDBM NFBTVSFNFOUT *O UIF OFVUSBM SFHJPO BO FYQPOFOUJBMMJLF CFIBWJPVS PG UIF $$& DBO CF PCTFSWFE XIPTF MPHBSJUINJD TMPQF JT SFMBUFE UP UIF NJOPSJUZ DBSSJFS EJČVTJPO MFOHUI. 4JMJDPO $BSCJEF 4JMJDPO DBSCJEF 4J$ FYJTUT JO NBOZ EJČFSFOU QPMZUZQFT XIJDI EJČFS JO UIF TUBDLJOH PG EPVCMF MBZFST PG 4J BOE $ BUPNT UIFTF EJČFSFODFT BČFDU BMM FMFDUSPOJD BOE PQUJDBM QSPQFSUJFT PG UIF DSZTUBM ćF NPTU JOUFSFTUJOH 4J$ QPMZUZQFT GPS BQQMJDBUJPOT JO FMFDUSPOJDT BSF ) BOE ) XIJDI BSF SFHBSEFE BT PQUJNBM DBOEJEBUFT GPS IJHIQPXFS BOE IJHIGSFRVFODZ EFWJDFT CFDBVTF PG UIFJS FYDFMMFOU QIZTJDBM QSPQFSUJFT TVDI BT XJEF CBOEHBQ IJHI TBUVSBUJPO WFMPDJUZ PG FMFDUSPOT IJHI CSFBLEPXO ĕFME IJHI UIFSNBM DPOEVDUJWJUZ BOE SBEJBUJPO IBSEOFTT TJNJMBS UP EJBNPOE <> 4JODF UIF UVSO PG UIF MBTU EFDBEF 4J$ QO BOE 4DIPUULZ EJPEFT XFSF TUVEJFE CZ *#*$53*#*$ UFDIOJRVFT JO PSEFS UP FWBMVBUF UIFJS FMFDUSPOJD DIBSBDUFSJTUJDT BOE UP NFBTVSF UIF BWFSBHF FOFSHZ QFS FMFDUSPOIPMF QBJS HFOFSBUJPO < > "O FYDFMMFOU FYBNQMF PG UIF QPUFOUJBM PG *#*$ UP WJTVBMJ[F UIF EJTUSJCVUJPO PG EFGFDUT UISPVHIPVU UIF XIPMF BDUJWF.

(20) . *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF Depletion region. Frontal ion irradiation. Neutral region. 50 m thick N-type epitaxial 4H-SiC layer. Schottky electrode. Energy loss (keV/ m− 1 ). B. 180 160 140 120 100 80 60 40 20 0. 0.7 0.9 1.1 1.3. 0. 5. 10. 15. H+ energy (MeV). 1.7. 20. 25. 30. 35. 40. 45. 50. Depth ( m) C. Bulk defects Surface defects 1 mm. 0.7 MeV. 0.9 MeV. 1.1 MeV. 1.3 MeV. 0. 1.5 MeV. 1.7 MeV. 1 CCE D. 'ĶĴłĿĲ B 4DIFNF PG UIF JPO JSSBEJBUJPO HFPNFUSZ PG B )4J$ 4DIPUULZ EJPEF C *POJ[BUJPO DVSWFT SFMFWBOU UP BOE .F7 ) JPOT JO )4J$ D DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ NBQT 'PS EFUBJMT TFF <>. WPMVNF XBT HJWFO CZ +BLÝJʉ FU BM <> *O UIJT QBQFS B )4J$ 4DIPUULZ EJPEF XBT BOBMZTFE CZ VTJOH QSPUPO NJDSPCFBNT BU EJČFSFOU FOFSHJFT JO PSEFS UP QSPCF EJČFSFOU EFQUI PG UIF FQJUBYJBM MBZFS ಯN UIJDL ćF #SBHH DVSWFT SFMFWBOU UP UIF EJČFSFOU JPO FOFSHJFT BSF TIPXO JO 'JHVSF ćF $$& NBQ SFMFWBOU UP UIF MPXFTU QSPUPO FOFSHZ .F7 NBLFT FWJEFOU UIF QSFTFODF PG B TDSBUDI PO UIF UPQ FMFDUSPEF PS TIBMMPX EFGFDUT TJODF UIF QSPCJOH EFQUI JT MJNJUFE UP GFX NJDSPNFUFST .PSF QSPOPVODFE JOIPNPHFOFJUJFT QSPCBCMZ EVF UP UIF TVCTUSBUFFQJUBYJBM MBZFS JOUFSGBDF BSF WJTJCMF JO *#*$ JNBHFT XJUI IJHIFS QSPUPO FOFSHJFT XIFSF NPTU PG UIF JPO FOFSHZ MPTT PDDVST EFFQFS JO UIF EJČVTJPO SFHJPO " EJČFSFOU BQQSPBDI <> UP NPEVMBUF UIF QSPCJOH EFQUI PG UIF JPO CFBN DPOTJTUT JO UIF $$& NFBTVSFNFOU BT GVODUJPO. PG UIF JPO CFBN BOHMF PG JODJEFODF TFF 'JHVSF XIJDI BMMPXT UIF NJOPSJUZ DBSSJFST EJČVTJPO MFOHUI UIF FOFSHZ MPTT JO UIF EFBE MBZFS BOE UIF EFQMFUJPO MBZFS XJEUI UP CF NFBTVSFE *O DPNQBSJTPO XJUI UIF BGPSFNFOUJPOFE NFUIPE <> JU PČFST UIF BEWBOUBHF PG CFJOH NVDI TJNQMFS UP JNQMFNFOU FYQFSJNFOUBMMZ JU VTFT B TJNQMFS ĕUUJOH BMHPSJUIN UP FYUSBDU UIF QIZTJDBM QBSBNFUFS FH EJČVTJPO MFOHUI BOE JU JT MFTT TFOTJUJWF UP QMBTNB FČFDUT EVF UP UIF JODSFBTJOH DBSSJFS EFOTJUZ PDDVSSJOH XIFO UIF #SBHHT QFBL SFMFWBOU UP MPX FOFSHZ QSPUPOT JT VTFE "OPUIFS JOUFSFTUJOH FYBNQMF PG *#*$ BQQMJDBUJPO UP TUVEZ UIF FMFDUSPOJD GFBUVSFT PG 4J$ EFWJDFT BOE UIFJS SPCVTUOFTT BHBJOTU JPO JSSBEJBUJPO IBT CFFO HJWFO CZ -FF FU BM <> XIP TUVEJFE UIF RVBMJUZ PG UIF TJMJDPO EJPYJEF JO B .04.

(21) *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF. Proton beam = 68◦. Energy loss (keV/ m). Au/Ni Schottky contact (about 300 nm). = 15 m. Proton beam = 0◦. depletion layer. n-type 4H-SiC epilayer (48 m). n+-type 4H-SiC substrate (360 m) Ohmic contact, Ti/Pt/Au. 250 225 200 175 150 125 100 75 50 25 0. 68◦ 58◦. 0. 4. 8. 12. 16. 48◦. 20. 38◦. 24. 18◦ − 2◦. 28. 32. Depth ( m) B. C. 1 0.9 0.8 0.7 0.6 0.5 20. 40. 60 80 100 120 Reverse bias (Volt). 68◦ 58◦ 48◦. 140. 38◦ 18◦ − 2◦ D. 'ĶĴłĿĲ B 4DIFNF PG UIF FYQFSJNFOUBM TFUVQ GPS BOHMFSFTPMWFE *#*$ FYQFSJNFOU PO B )4J$ 4DIPUULZ EJPEF C #SBHHT DVSWFT SFMFWBOU UP UIF JPOJTBUJPO FOFSHZ QSPĕMFT PG .F7 QSPUPOT JODJEFOU BU EJČFSFOU BOHMFT JO )4J$ BT FWBMVBUFE CZ UIF 43*. DPNQVUFS DPEF D. $IBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ BT GVODUJPO PG SFWFSTF CJBT WPMUBHF BU EJČFSFOU BOHMF PG JODJEFODF UIF DPOUJOVPVT MJOFT BSF UIF UIFPSFUJDBM DVSWFT GSPN UIF EJČVTJPOESJę NPEFM 3FQSJOUFE GSPN <> XJUI QFSNJTTJPO GSPN &MTFWJFS. )4J$ QUZQF EJPEF $$& NBQT FWJEFODFE UIF QSPHSFTTJWF EFHSBEBUJPO PG UIF *#*$ TJHOBMT BT GVODUJPO PG UIF JPO ĘVFODF VQ UP UIF SVQUVSF PG UIF PYJEF MBZFS JOEVDFE CZ UIF TUSPOH FMFDUSJD ĕFME PDDVSSJOH CFUXFFO DIBSHFE USBQT BU UIF 4J0 4J$ JOUFSGBDF BOE XJUIJO UIF PYJEF ĕMMFE XJUI FMFDUSPOIPMF QBJST HFOFSBUFE CZ UIF TDBOOJOH .F7 )F NJDSPCFBN 5P RVBMJGZ UIF OBUJWF USBQ JO B )4J$ 4DIPUULZ EJPEFT *#*$ NFBTVSFNFOUT PG UIF EJČVTJPO MFOHUI PG NJOPSJUZ DBS SJFST XFSF DBSSJFE PVU JO UIF UFNQFSBUVSF SBOHF PG o , <> ć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ČVTJPO JO UIF DIBSHF DPMMFDUJPO QSPDFTT BOE JO UIF EFĕOJUJPO PG UIF BDUJWF BSFBT JO QJYFMMBUFE FMFDUSPEF TUSVDUVSFT <>. 0UIFS 8JEF #BOEHBQ 4FNJDPOEVDUPST $BENJVN UFM MVSJEF $E5F BOE DBENJVN [JOD UFMMVSJEF $;5 IBWF SFDFJWFE TJHOJĕDBOU BUUFOUJPO GPS UIF GBCSJDBUJPO PG 9 BOE HBNNBSBZ EFUFDUPST 8JUI SFTQFDU UP 4J UIFZ PČFS UXP NBJO BEWBOUBHFT 4JODF UIF DSPTT TFDUJPO GPS QIPUPFMFDUSJD FČFDU TDBMFT BQQSPYJNBUFMZ BT ਏ <> UIFJS IJHI BUPNJD OVNCFST ਏ$E ! ਏ;O ! BOE ਏ5F ! FOIBODF UIF BCTPSQUJPO PG IJHI FOFSHZ QIPUPOT JO SFMBUJWFMZ TNBMM WPMVNFT NPSFPWFS UIFJS SFMBUJWFMZ MBSHF CBOEHBQ FOFSHZ BSPVOE F7 BOE IJHI JOUSJOTJD SFTJTUJWJUZ " ɭ DN NBLF UIFTF NBUFSJBMT BUUSBDUJWF GPS UIF EFWFMPQNFOU PG SPPN UFNQFSBUVSF EFUFDUPST GPS NFEJDBM BOE UFDIOPMPHJDBM BQQMJDBUJPOT <> )PXFWFS UIFSF BSF TQFDJĕD GFBUVSFT XIJDI MJNJU UIF FOFSHZ SFTPMVUJPO PG $E5F PS $;5 EFUFDUPST 5FDIOPMPHJDBM JTTVFT BSF SFMBUFE UP UIF TQBUJBM OPOVOJGPS NJUZ PG UIF $$& EVF UP UIF GPSNBUJPO PG FYUFOEFE EFGFDUT BT 5F JODMVTJPOT JO IJHISFTJTUJWJUZ DSZTUBMT <> BOE UP UIF EFWFMPQNFOU PG B SFMJBCMF NFUIPE UP NFUBMJ[F UIF TVSGBDF GPS UIF SFBMJ[BUJPO PG FďDJFOU DPOUBDUT <> *#*$ BOBMZTFT IBWF HJWFO SFNBSLBCMF DPOUSJCVUJPOT UP DPSSFMBUF UIFTF FČFDUT XJUI UIF QFSGPSNBODFT PG EFUFD UPST OVNFSPVT DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ NBQT IBWF CFFO.

(22) . *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF Pulse height. 100 m. 'ĶĴłĿĲ *#*$ NBQ PG UIF $E5F$E4 QPMZDSZTUBMMJOF TPMBS DFMM ćF JOTFU TIPX B ಯN [PPN PG UIF NBQ 4FF <> GPS EFUBJMT. CCE 800. 1 mm. Pixel. 600. 400. 200. 0 0. 5. 10. 15. 20. 25. 30. CCE (%). 50 V B. C. 'ĶĴłĿĲ B *#*$ NBQ PG B (B"T 4DIPUULZ EJPEF PCUBJOFE VTJOH B .F7 ) NJDSPCFBN UIF SFWFSTF BQQMJFE CJBT XBT 7 C ćF SFMFWBOU QVMTF IFJHIU TQFDUSVN 4FF <> GPS EFUBJMT. BDRVJSFE PO EJČFSFOU NBUFSJBMT FWJEFODJOH UIF SFEVDUJPO PG DBSSJFS MJGFUJNF JO UIF NBUFSJBM DMPTF UP UIF JODMVTJPOT BOE UIF OPOVOJGPSN QSPĕMF PG UIF FMFDUSJD ĕFME QSPĕMF <> ćFTF BOBMZTFT XIFSF VTFE UP SFBMJTUJDBMMZ TJNVMBUF HBNNB SBZ TQFDUSBM SFTQPOTF PG $E5F OVDMFBS EFUFDUPST VTJOH .POUF $BSMP DPNQVUFS DPEFT <> .PSFPWFS CPUI $E5F BOE $;5 TIPX BO JOUSJOTJD MJNJU JO FOFSHZ SFTPMVUJPO EVF UP UIF MPX IPMF NPCJMJUZ SFTVMUJOH JO IPMF ESJę MFOHUIT NVDI TIPSUFS UIBO UIPTF PG FMFDUSPOT ćJT GBDU JT SFTQPOTJCMF GPS UIF JODPNQMFUF DIBSHF DPMMFDUJPO JO UIJDL EFUFDUPST SFRVJSFE GPS IJHIFOFSHZ HBNNBSBZ EFUFD UJPO BOE DPOTFRVFOUMZ MPOH UBJMT JO UIF NFBTVSFE TQFDUSB. ćJT QIFOPNFOPO XBT TZTUFNBUJDBMMZ JOWFTUJHBUFE CZ TFWFSBM HSPVQT JO UJNFSFTPMWFE *#*$ FYQFSJNFOUT BCMF PG FWFOU CZFWFOU QVMTF EJHJUJ[BUJPO BOE BDRVJTJUJPO < > FWFO BU EJČFSFOU UFNQFSBUVSF < > ćF EJČFSFOU SPMF QMBZFE CZ FMFDUSPOT BOE IPMFT GPS UIF DIBSHF JOEVDUJPO IBT CFFO DMFBSMZ FWJEFODFE JO UFSNT PG RVBOUJUBUJWF NPCJMJUZ MJGFUJNF NBQT BOE QSPĕMFT BDRVJSFE JO SFBM UJNF VOEFS EJČFSFOU QPMBSJ[BUJPO DPOEJUJPOT 1PMZDSZTUBMMJOF $E5F JT POF PG UIF NPTU JNQPSUBOU NBUF SJBMT GPS JOEVTUSJBM NBTT QSPEVDUJPO PG UIJO ĕMN TPMBS DFMMT JU IBT UIF HSFBU BEWBOUBHF PG CFJOH NVDI FBTJFS UP QSPEVDF JO DPNQBSJTPO UP DSZTUBMMJOF TJMJDPO TPMBS DFMMT BOE JUT CBOEHBQ.

(23) *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF JT WFSZ DMPTF UP UIF UIFPSFUJDBM NBYJNVN PG QIPUPWPMUBJD DPOWFSTJPO FďDJFODZ PG TPMBS FOFSHZ <> "T GPS EJBNPOE *#*$ BOBMZTFT IBWF FWJEFODFE UIBU UIF JOIPNPHFOFPVT OBUVSF PG QPMZDSZTUBMMJOF $E5F TBNQMFT TUSPOHMZ BČFDU JUT FMFDUSPOJD USBOTQPSU QSPQFSUJFT <> " ĕOJUF $E4$E5F UIJO TPMBS DFMM IBT CFFO SFDFOUMZ BOBMZTFE CZ *#*$ VTJOH LF7 )F JPO CFBNT FYUSBDUFE JO BJS BOE GPDVTFE POUP UIF CBDL FMFDUSPEF "T BO FYBNQMF 'JHVSF TIPXT BO *#*$ NBQ PG B $E5F$E4 TPMBS DFMM XPSLJOH JO QIPUPWPMUBJD NPEF QVMTFT HFOFSBUFE JO SFHJPOT DMPTF UP HSBJO CPVOEBSJFT BSF MPXFS UIBO TJHOBMT HFOFSBUFE XJUIJO UIF HSBJOT PWFS B XJEUI PG B GFX NJDSPNFUFST <> (BMMJVN "STFOJEF 4DIPUULZ EJPEFT XFSF BNPOH UIF WFSZ ĕSTU TFNJDPOEVDUPS EFWJDFT BOBMZTFE CZ *#*$ UP JNQSPWF UIFJS SFTJTUBODF BHBJOTU TJOHMF FWFOU VQTFUT < > ćFSFGPSF B TZTUFNBUJD *#*$ BOBMZTJT XBT DBSSJFE PVU PO 4DIPUULZ EJPEFT GBCSJDBUFE PO TFNJJOTVMBUJOH (B"T TVCTUSBUFT JO PSEFS UP DPSSFMBUF UIF $$& VOJGPSNJUZ XJUI UIF FOFSHZ SFTPMVUJPO PG UIF EFWJDF <> 'JHVSF TIPXT BO *#*$ NBQ PG B (B"T 4DIPUULZ EJPEF XJUI B SFWFSTF CJBT WPMUBHF PG 7 PCUBJOFE VTJOH .F7 ) JPOT <> ćF $$& TQFDUSVN TIPXT B MPOH UBJM XIJDI JT EVF UP UIF QSFTFODF PG UXP TQBUJBMMZ EJTUJODU iFMFDUSPOJD QIBTFTw BT FWJEFODFE CZ UIF *#*$ NBQ JO XIJDI UIF DIBSHF DPMMFDUJPO JT EJČFSFOU BOE XIJDI BSF UIF SFTQPOTJCMF GPS UIF QPPS TQFDUSBM SFTPMVUJPO PG TVDI B EFUFDUPS BU MPX CJBT WPMUBHFT 4VDI FMFDUSPOJD iQIBTFTw TIPX EJČFSFOU CFIBWJPVST BT B GVODUJPO PG UIF BQQMJFE CJBT WPMUBHF XIJDI JT MJLFMZ EVF UP UIF EJČFSFOU FMFDUSJD ĕFME EFQFOEFODF PO UIF SFMFWBOU DBQUVSF DSPTT TFDUJPOT PG UIF USBQQJOH DFOUSFT GPS CPUI DIBSHF DBSSJFST ćJT JOUFSQSFUBUJPO IBT CFFO TVCTFRVFOUMZ SFJOGPSDFE CZ MBUFSBM *#*$ FYQFSJNFOUT XIJDI FWJEFODF UIF GPSNBUJPO PG B .PUUMJLF CBSSJFS BU IJHI FMFDUSJD ĕFME EVF UP UIF FMFDUSJD ĕFMEFOIBODFE DBQUVSF DSPTT TFDUJPO PG FMFDUSPOT GSPN EFFQ EPOPS MFWFMT <>. $PODMVTJPOT *#*$ JT B QPXFSGVM FYQFSJNFOUBM UFDIOJRVF GPS HBJOJOH BO VOEFSTUBOEJOH PG UIF USBOTQPSU NFDIBOJTNT JO TFNJDPO EVDUPSJOTVMBUJOH NBUFSJBMT 4JODF UIF FBSMJFTU XPSLT NBOZ MBCPSBUPSJFT FRVJQQFE XJUI NJDSPGPDVTFE .F7 JPO CFBNT IBWF DBSSJFE PVU *#*$ FYQFSJNFOUT GPS UIF DIBSBDUFSJ[BUJPO PG CBTJD EFWJDFT BT 4DIPUULZ QO PS .04 EJPEFT BT XFMM BT PG EPTJNFUFST QBSUJDMF EFUFDUPST PS -&%T <> ćF SFBTPO PG UIF XJEFTQSFBE VTF PG UIJT UFDIOJRVF SFTJEFT JO UIF BWBJMBCJMJUZ PG UFOT PG IJHI FOFSHZ NJDSPQSPCFT BSPVOE UIF XPSME UIF XJEFTQSFBE FYQFSUJTF PO IBOEMJOH BOE QSPDFTTJOH DIBSHF QVMTFT DPNNPOMZ VTFE JO OVDMFBS TQFDUSPTDPQZ BOE UIF QPTTJCJMJUZ PG B TZOFSHFUJD DPVQMJOH XJUI PUIFS JPO CFBN BOBMZUJDBM *#" UFDIOJRVFT TVDI BT 1*9& *#*- BOE TDBOOJOH JPO USBOTNJTTJPO NJDSPTDPQZ 45*. <> ćF QPXFS PG *#*$ TUFNT GSPN UIF IJHI TFOTJUJWJUZ PG UIF JOEVDFE DIBSHF QVMTFT UP FMFDUSJD ĕFME DBSSJFS MJGFUJNF BOE NPCJMJUZ UIF QPUFOUJBM PG NBQQJOH UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ BU UIF TVCNJDSPNFUFS TDBMF BOE UIF BWBJMBCJMJUZ PG B SPCVTU UIFPSFUJDBM GSBNFXPSL TVJUBCMF BMHPSJUINT BOE TJNVMBUJPO NPEFMT XIJDI BSF DBQBCMF UP FYUSBDU GSPN UIF. NFBTVSFNFOUT NBOZ PG UIF QBSBNFUFST SFRVJSFE GPS B DPN QSFIFOTJWF DIBSBDUFSJ[BUJPO PG UIF EFWJDF VOEFS TUVEZ #FTJEFT UIF USBEJUJPOBM BQQMJDBUJPO PG *#*$ GPS UIF BOBMZTJT PG TFNJDPOEVDUPS NBUFSJBMT BOE CBTJD EFWJDF XIJDI IBWF CFFO SFWJFXFE JO UIJT QBQFS BU QSFTFOU JUT VTF IBT CFFO FYUFOTJWFMZ BEPQUFE UP TUVEZ TPę PS IBSE FSSPST PDDVSSJOH JO JOUFHSBUFE DJSDVJUT DBVTFE CZ IFBWZ JPOT < > BOE UP BOBMZTF SBEJBUJPOJOEVDFE EFGFDUT JO TFNJDPOEVDUPST BOE JOTVMBUPST *O UIJT MBUUFS SFTQFDU UIF VTF PG .F7 JPO NJDSPCFBNT PČFST UIF BEWBOUBHF CPUI UP EBNBHF TFMFDUFE SFHJPOT BOE UP NPOJUPS UIF SBEJBUJPOJOEVDFE EFGFDUT "O FYUFOEFE MJUFSBUVSF JT BWBJMBCMF PO UIJT TVCKFDU < > " SFDFOU QBQFS PG 1BTUVPWJʉ FU BM <> IBT QSPQPTFE BO FYQFSJNFOUBM NFUIPEPMPHZ TVQQPSUFE XJUI B TUSPOH UIFPSFUJDBM GSBNFXPSL UP TUVEZ UIF FČFDUT PG SBEJBUJPO EBNBHF JO EJČFSFOU TFNJDPOEVDUPST ćJT QSPUPDPM JT OPX BO PCKFDU PG TUVEZ GSPN BO JOUFSOBUJPOBMMZ DPPSEJOBUFE QSPKFDU <> BJNFE UP JNQSPWF UIF VOEFSTUBOEJOH PG IPX SBEJBUJPO JOEVDFE EFGFDUT GPSN JO TFNJDPOEVDUPST BOE JOTVMBUPST BOE IPX UIF QFSGPSNBODFT PG FMFDUSPOJD EFWJDFT EFHSBEF JO FYUSFNF BOE IBSTI SBEJBUJPO FOWJSPONFOUT *O UIF ĕFME PG EFGFDU FOHJOFFSJOH JO TFNJDPOEVDUPST JU JT XPSUIXIJMF UP NFOUJPO UIF SFBMJ[BUJPO PG B QPTJUJPOTFOTJUJWF EFUFDUPS CBTFE PO UIF NFBTVSFNFOU PG UIF $$& EFHSBEBUJPO JO B SFHJPO XJUI DPOTUBOU EBNBHF HSBEJFOU JO 4J QIPUPEJPEFT <> ćF QPUFOUJBM PG *#*$ UP JOWFTUJHBUF JO EFQUI UIF FMFDUSPOJD GFBUVSFT PG EFWJDFT JT QSPTQFDUFE UP QSPWJEF WBMVBCMF JOGPSNBUJPO GPS UIF DIBSBDUFSJ[BUJPO PG OPWFM UISFFEJNFOTJPOBM UPQPMPHJFT PG SBEJBUJPO EFUFDUPST ćF NBJO BEWBOUBHF PG UIJT BQQSPBDI JT UIBU UIF DBSSJFST IBWF UP USBWFM TIPSU ESJę EJTUBODFT JO UIF CVML PG UIF EFUFDUPS SFTVMUJOH JO GBTU SFTQPOTF FOIBODFE EFUFDUJPO FďDJFODZ BOE IJHI SBEJBUJPO IBSEOFTT BOE DPOTFRVFOUMZ QSPNJTJOH BQQMJDBUJPOT BQQFBS GFBTJCMF JO UIF ĕFMET PG 9SBZ NFEJDBM JNBHJOH PS QBSUJDMF USBDLJOH JO IJHI FOFSHZ FYQFSJNFOUT < > " SFNBSLBCMF FYBNQMF PG TVDI BQQMJDBUJPOT XBT HJWFO CZ 0MJWFSP FU BM <> XIP QFSGPSNFE *#*$ FYQFSJNFOUT UP DIBSBDUFSJ[F UIF DIBSHF DPMMFDUJPO FďDJFODZ JO B NPOPDSZTUBMMJOF EJBNPOE EFUFDUPS XJUI CVSJFE NJDSPFMFDUSPEFT GBCSJDBUFE CZ EFFQ JPO CFBN MJUIPHSBQIZ *O UIF OFBS GVUVSF JU JT FYQFDUFE UIBU *#*$ HBJOT JODSFBTJOH JOUFSFTU GPS UIF NFBTVSFNFOU PG UIF JPO TUSJLF MPDBUJPO JO NVMUJFMFDUSPEF EFWJDFT &YBNQMFT JODMVEF UIF EFWFMPQNFOU PG TJOHMFBUPN EFUFSNJOJTUJD EPQJOH UFDIOJRVFT XIJDI BSF OPX FNFSHJOH <> GPS QPUFOUJBM BQQMJDBUJPOT JO TPMJETUBUF RVBOUVN JOGPSNBUJPO QSPDFTTJOH EFWJDFT 'PS TVDI QVSQPTFT UIF FWBMVBUJPO PG UIF JOEVDFE DIBSHF TIBSFE CFUXFFO UIF FMFDUSPEFT DPVME CF VTFE GPS UIF NFBTVSFNFOU PG UIF JPO TUSJLF MPDBUJPO UP TVCNJDSPO QSFDJTJPO ćF BDIJFWFNFOU PG UIJT HPBM SFRVJSFT BDDVSBUF BOBMZTJT PG UIF JOEVDFE DIBSHF QVMTF GPS NBUJPO NFDIBOJTN BOE B TVJUBCMF JOWFTUJHBUJPO PG UIF NBJO QIZTJDBM QIFOPNFOB JOĘVFODJOH UIF NFBTVSFNFOU <>. 3FGFSFODFT <> : 8BOH BOE . /BTUBTJ &ET )BOECPPL PG .PEFSO *PO #FBN .BUFSJBMT "OBMZTJT .BUFSJBMT 3FTFBSDI 4PDJFUZ 8BSSFOEBMF 1FOOTZMWBOJB OE FEJUJPO .

(24) <> ( ' ,OPMM 3BEJBUJPO %FUFDUJPO BOE .FBTVSFNFOUT +PIO 8JMFZ 4POT /FX :PSL /: 64" SE FEJUJPO <> . # ) #SFFTF % / +BNJFTPO BOE 1 + $ ,JOH .BUFSJBMT "OBMZTJT VTJOH B /VDMFBS .JDSPQSPCF +PIO 8JMFZ 4POT <> + ' ;JFHMFS . % ;JFHMFS BOE + 1 #JFSTBDL i43*.UIF TUPQQJOH BOE SBOHF PG JPOT JO NBUUFS w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> + 4 -BJSE $ +BHBEJTI % / +BNJFTPO BOE ( + ' -FHHF i4DBOOJOH JPO EFFQ MFWFM USBOTJFOU TQFDUSPTDPQZ * ćFPSZ w +PVSOBM PG 1IZTJDT % WPM QQ o <> & + ,PCFUJDI BOE 3 ,BU[ i&OFSHZ EFQPTJUJPO CZ FMFDUSPO CFBNT BOE ಧ SBZT w 1IZTJDBM 3FWJFX WPM OP QQ o <> $ " ,MFJO i#BOEHBQ EFQFOEFODF BOE SFMBUFE GFBUVSFT PG SBEJBUJPO JPOJ[BUJPO FOFSHJFT JO TFNJDPOEVDUPST w +PVSOBM PG "QQMJFE 1IZTJDT WPM OP QQ o <> . # ) #SFFTF 1 + $ ,JOH ( 8 (SJNF BOE ' 8BUU i.JDSPDJSDVJU JNBHJOH VTJOH BO JPOCFBNJOEVDFE DIBSHF w +PVSOBM PG "QQMJFE 1IZTJDT WPM OP QQ o <> # 5JMNBO 5 3FJOFSU BOE % 4QFNBOO i&EJUPSJBM PG UIF UI *OUFSOBUJPOBM $POGFSFODF PG /VDMFBS .JDSPQSPCF 5FDIOPMPHZ BOE "QQMJDBUJPOT *$/.5" w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> . # ) #SFFTF i" SFWJFX PG JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF NJDSPTDPQZ GPS JOUFHSBUFE DJSDVJU BOBMZTJT w .BUFSJBMT 4DJFODF BOE &OHJOFFSJOH # WPM OP o QQ o <> . # ) #SFFTF & 7JUUPOF ( 7J[LFMFUIZ BOE 1 + 4FMMJO i" SFWJFX PG JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF NJDSPTDPQZ w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> ( ) %PFIMFS BOE ) )FZT[FOBV i$POEVDUJPO JO UIF SFMBYBUJPO SFHJNF w 1IZTJDBM 3FWJFX # WPM QQ o <> ; )F i3FWJFX PG UIF 4IPDLMFZ3BNP UIFPSFN BOE JUT BQQMJ DBUJPO JO TFNJDPOEVDUPS HBNNBSBZ EFUFDUPST w /VDMFBS *OTUSV NFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM QQ o <> 5 ) 1SFUUZNBO ićFPSFUJDBM GSBNFXPSL GPS NBQQJOH QVMTF TIBQFT JO TFNJDPOEVDUPS SBEJBUJPO EFUFDUPST w /VDMFBS *OTUSV NFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM OP QQ o <> + % +BDLTPO $MBTTJDBM &MFDUSPEZOBNJDT +PIO 8JMFZ 4POT SE FEJUJPO <> 8 4IPDLMFZ i$VSSFOUT UP DPOEVDUPST JOEVDFE CZ B NPWJOH QPJOU DIBSHF w +PVSOBM PG "QQMJFE 1IZTJDT WPM OP QQ o <> 4 3BNP i$VSSFOUT JOEVDFE CZ FMFDUSPO NPUJPO w 1SPDFFEJOHT PG UIF *3& WPM QQ o <> $ , +FO i0O UIF JOEVDFE DVSSFOU BOE FOFSHZ CBMBODF JO FMFDUSPOJDT w 1SPDFFEJOHT PG UIF *3& QQ o <> ( $BWBMMFSJ & (BUUJ ( 'BCSJ BOE 7 4WFMUP i&YUFOTJPO PG 3BNPT UIFPSFN BT BQQMJFE UP JOEVDFE DIBSHF JO TFNJDPO EVDUPS EFUFDUPST w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI WPM OP QQ o <> & 7JUUPOF ' 'J[[PUUJ " -P (JVEJDF $ 1BPMJOJ BOE $ .BOGSFEPUUJ ićFPSZ PG JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF DPMMFDUJPO JO EFUFDUPST CBTFE PO UIF FYUFOEFE 4IPDLMFZ3BNP UIFPSFN w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> + # (VOO i" HFOFSBM FYQSFTTJPO GPS FMFDUSPTUBUJD JOEVDUJPO BOE JUT BQQMJDBUJPO UP TFNJDPOEVDUPS EFWJDFT w 4PMJE 4UBUF &MFDUSPOJDT WPM OP QQ o . *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF <> & 7JUUPOF ićFPSZ PG JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF NFBTVSFNFOU JO TFNJDPOEVDUPS EFWJDFT CBTFE PO UIF (VOOT UIFPSFN w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> - " )BNFM BOE . +VMJFO i(FOFSBMJ[FE EFNPOTUSBUJPO PG 3BNPT UIFPSFN XJUI TQBDF DIBSHF BOE QPMBSJ[BUJPO FČFDUT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM QQ o <> 7 3BEFLB i-PXOPJTF UFDIOJRVFT JO EFUFDUPST w "OOVBM 3FWJFX PG /VDMFBS BOE 1BSUJDMF 4DJFODF WPM QQ o <> & 7JUUPOF ; 1BTUVPWJʉ 1 0MJWFSP FU BM i4FNJDPOEVDUPS DIBSBDUFSJ[BUJPO CZ TDBOOJOH JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF *#*$. NJDSPTDPQZ w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> 4 4FMCFSIFSS "OBMZTJT BOE 4JNVMBUJPO PG 4FNJDPOEVDUPS %FWJDFT 4QSJOHFS 7JFOOB "VTUSJB <> 5 ) 1SFUUZNBO i.FUIPE GPS NBQQJOH DIBSHF QVMTFT JO TFNJDPOEVDUPS SBEJBUJPO EFUFDUPST w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM OP o QQ o <> ( 7J[LFMFUIZ i4JNVMBUJPO PG JPO #FBN JOEVDFE DVSSFOU JO SBEJ BUJPO EFUFDUPST BOE NJDSPFMFDUSPOJD EFWJDFT w 4BOEJB /BUJPOBM -BCPSBUPSJFT 3FQPSU 4"/% <> ( 7J[LFMFUIZ i4JNVMBUJPO PG JPO CFBN JOEVDFE DVSSFOU JO SBEJBUJPO EFUFDUPST BOE NJDSPFMFDUSPOJD EFWJDFT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> + -BJSE 5 )JSBP 4 0OPEB BOE 5 ,BNJZB ićF SPMF PG IJHI JOKFDUJPO FČFDUT PO UIF USBOTJFOU JPO CFBN JOEVDFE DVSSFOU SFTQPOTF PG IJHITQFFE QIPUPEFUFDUPST w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> 1 0MJWFSP + 'PSOFSJT 1 (BNBSSB FU BM i.POUF $BSMP BOBMZTJT PG B MBUFSBM *#*$ FYQFSJNFOU PO B )4J$ 4DIPUULZ EJPEF w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> + " WBO ,BO 1 .BMBS BOE " # EF 7FSB ićF TFDPOE HFOFSBUJPO 4JOHBQPSF IJHI SFTPMVUJPO QSPUPO CFBN XSJUJOH GBDJMJUZ w 3FWJFX PG 4DJFOUJĕD *OTUSVNFOUT WPM QQ o <> ) + -FBNZ i$IBSHF DPMMFDUJPO TDBOOJOH FMFDUSPO NJDSPTDPQZ w +PVSOBM PG "QQMJFE 1IZTJDT WPM OP QQ 3o3 <> + %PNBSBE[LJ BOE % ,BD[NBSFL i0QUJDBM CFBN JOKFDUJPO NFUIPET BT B UPPM GPS BOBMZTJT PG TFNJDPOEVDUPS TUSVDUVSFT w 0QUJDB "QQMJDBUB WPM OP QQ o <> ) 4DIÚOF % 4 8BMTI ' 8 4FYUPO FU BM i5JNFSFTPMWFE JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF DPMMFDUJPO 53*#*$$ JO NJDSP FMFDUSPOJDT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> 1 + 4FMMJO " -PITUSPI " 4JNPO BOE . # ) #SFFTF i%JH JUBM *#*$OFX TQFDUSPTDPQJD NPEBMJUJFT GPS JPOCFBNJOEVDFE DIBSHF JNBHJOH w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM QQ o <> $ .BOGSFEPUUJ ' 'J[[PUUJ & 7JUUPOF FU BM i*#*$ JOWFTUJHBUJPOT PO $7% EJBNPOE w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> & 7JUUPOF ' 'J[[PUUJ " -P (JVEJDF 1 1PMFTFMMP BOE $ .BOGSFEPUUJ i4JNVMBUJPO PG B $E5F HBNNB SBZ EFUFDUPS CBTFE PO DPMMFDUJPO FďDJFODZ QSPĕMFT BT EFUFSNJOFE CZ MBUFSBM *#*$ w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM OP QQ o .

(25) *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF <> $ .BOGSFEPUUJ ' 'J[[PUUJ 1 1PMFTFMMP FU BM i4DBOOJOH *PO #FBN .JDSPTDPQZ B OFX UPPM GPS NBQQJOH UIF USBOTQPSU QSPQFSUJFT PG TFNJDPOEVDUPST BOE JOTVMBUPST w JO 1SPDFFEJOHT PG UIF $1 "QQMJDBUJPO PG "DDFMFSBUPST JO 3FTFBSDI BOE *OEVTUSZ + - %VHHBO BOE * - .PSHBO &ET QQ o "*1 1SFTT /FX :PSL /: 64" <> . # ) #SFFTF ( 8 (SJNF BOE ' 8BUU ićF HFOFSBUJPO BOE BQQMJDBUJPOT PG JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF JNBHFT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> & 7JUUPOF ' 'J[[PUUJ & (BSHJPOJ FU BM i&WBMVBUJPO PG UIF EJČVTJPO MFOHUI JO TJMJDPO EJPEFT CZ NFBOT PG UIF MBUFSBM *#*$ UFDIOJRVF w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> & 7JUUPOF $ .BOGSFEPUUJ ' 'J[[PUUJ FU BM i.FBTVSFNFOUT PG DIBSHF DPMMFDUJPO QSPĕMFT JO WJSHJO BOE TUSPOHMZ JSSBEJBUFE TJMJDPO EJPEFT CZ NFBOT PG UIF NJDSP*#*$$ UFDIOJRVF w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM OP QQ o <> ' 'J[[PUUJ & $PMPNCP " -P (JVEJDF FU BM i.FBTVSFNFOU PG DIBSHF DPMMFDUJPO QSPĕMFT JO JSSBEJBUFE TJMJDPO EJPEFT CZ MBUFSBM *#*$ UFDIOJRVF w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> $ .BOGSFEPUUJ ' 'J[[PUUJ " -P (JVEJDF FU BM i5JNFSFTPMWFE JPO CFBNJOEVDFE DIBSHF DPMMFDUJPO NFBTVSFNFOU PG NJOPSJUZ DBSSJFS MJGFUJNF JO TFNJDPOEVDUPS QPXFS EFWJDFT CZ VTJOH (VOOT UIFPSFN w .BUFSJBMT 4DJFODF BOE &OHJOFFSJOH # WPM OP o QQ o <> # / (VP . &M #PVBOBOJ 4 / 3FOGSPX FU BM i%JČVTJPO UJNFSFTPMWFE JPOCFBNJOEVDFE DIBSHF DPMMFDUJPO GSPN TUSJQF MJLF UFTU KVODUJPOT JOEVDFE CZ IFBWZJPO NJDSPCFBNT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> . ;NFDL - + #BML 5 0TJQPXJD[ FU BM i*PO CFBN JOEVDFE DIBSHF NJDSPTDPQZ TUVEJFT PG QPXFS EJPEFT w +PVSOBM PG 1IZTJDT $POEFOTFE .BUUFS WPM OP QQ 4o4 <> 5 0TJQPXJD[ . ;NFDL ' 8BUU FU BM i*#*$ BOBMZTJT PG IJHI QPXFS EFWJDFT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> $ :BOH % / +BNJFTPO 4 . )FBSOF FU BM i*POCFBN JOEVDFEDIBSHF DIBSBDUFSJTBUJPO PG QBSUJDMF EFUFDUPST w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> " 4JNPO BOE ( ,BMJOLB i*OWFTUJHBUJPO PG DIBSHF DPMMFDUJPO JO B TJMJDPO 1*/ QIPUPEJPEF w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> 1 & %PEE . 3 4IBOFZGFMU , . )PSO FU BM i4&6 TFOTJUJWF WPMVNFT JO CVML BOE 40* 43".T GSPN ĕSTUQSJODJQMFT DBMDVMBUJPOT BOE FYQFSJNFOUT w *&&& 5SBOTBDUJPOT PO /VDMFBS 4DJFODF WPM OP QQ o <> ( 7J[LFMFUIZ 1 & %PEE + 3 4DIXBOL FU BM i"OPNBMPVT DIBSHF DPMMFDUJPO GSPN TJMJDPOPOJOTVMBUPS TUSVDUVSFT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> 7 'FSMFU$BWSPJT 1 1BJMMFU + 3 4DIXBOL FU BM i$IBSHF DPM MFDUJPO CZ DBQBDJUJWF JOĘVFODF UISPVHI JTPMBUJPO PYJEFT w *&&& 5SBOTBDUJPOT PO /VDMFBS 4DJFODF WPM OP QQ o <> ( 7J[LFMFUIZ % , #SJDF BOE # - %PZMF ićF UIFPSZ PG JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF JO NFUBMPYJEFTFNJDPOEVDUPS TUSVDUVSFT w +PVSOBM PG "QQMJFE 1IZTJDT WPM OP "SUJDMF *% QBHFT . <> " % $ "MWFT 4 ćPNQTPO $ :BOH BOE % / +BNJFTPO i.BQQJOH JPO CFBN JOEVDFE DVSSFOU DIBOHFT JO B DPNNFSDJBM .04'&5 w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> $ %POPMBUP 3 /JQPUJ % (PWPOJ ( 1 &HFOJ 7 3VEFMMP BOE 1 3PTTJ i*NBHFT PG HSBJO CPVOEBSJFT JO QPMZDSZTUBMMJOF TJMJDPO TPMBS DFMMT CZ FMFDUSPO BOE JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF DPMMFDUJPO w .BUFSJBMT 4DJFODF BOE &OHJOFFSJOH # WPM OP o QQ o <> $ %POPMBUP BOE 3 /JQPUJ i4JNVMBUJPO PG QVMTF IFJHIU TQFDUSB JO JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF NJDSPTDPQZ PG QPMZDSZTUBMMJOF TJMJDPO w +PVSOBM PG "QQMJFE 1IZTJDT WPM OP QQ o <> , , -FF BOE % / +BNJFTPO i$IBSBDUFSJ[BUJPO PG TJMJDPO QPMZDSZTUBMMJOF TPMBS DFMMT BU DSZPHFOJD UFNQFSBUVSFT XJUI JPO CFBNJOEVDFE DIBSHF w 4PMBS &OFSHZ .BUFSJBMT BOE 4PMBS $FMMT WPM OP QQ o <> 7 #PSKBOPWJʉ . +BLÝJʉ ; 1BTUVPWJʉ # 1JWBD BOE & ,BU[ i*#*$ 4UVEJFT PG TUSVDUVSBM EFGFDU BDUJWJUZ JO EJČFSFOU QPMZDSZT UBMMJOF TJMJDPO NBUFSJBM w 7BDVVN WPM QQ o <> 7 #PSKBOPWJʉ . +BLÝJʉ Ç 1BTUVPWJʉ FU BM i%FGFDUT JO QPMZ DSZTUBMMJOF TJMJDPO TUVEJFE CZ *#*$$ w 4PMBS &OFSHZ .BUFSJBMT 4PMBS $FMMT WPM QQ o <> - $ ( 8JUIBN % / +BNJFTPO 3 " #BSEPT BOE " 4BJOU i5SBDF FMFNFOUT BOE DIBSHF SFDPNCJOBUJPO JO QPMZDSZTUBMMJOF QIPUPWPMUBJD NBUFSJBMT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM o QQ o <> " . +BLPC % 4QFNBOO 3 ćJFT + #BS[PMB2VJRVJ + 7PHU BOE 5 #VU[ i" DIBSBDUFSJTBUJPO PG FMFDUSPOJD QSPQFSUJFT PG BMLBMJOF UFYUVSJ[FE QPMZDSZTUBMMJOF TJMJDPO TPMBS DFMMT VTJOH *#*$ w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> 3 )PGTUBEUFS i3FNBSLT PO EJBNPOE DSZTUBM DPVOUFST w 1IZTJDBM 3FWJFX WPM OP Q <> $ $BOBMJ & (BUUJ 4 ' ,P[MPW FU BM i&MFDUSJDBM QSPQFSUJFT BOE QFSGPSNBODFT PG OBUVSBM EJBNPOE OVDMFBS SBEJBUJPO EFUFDUPST w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET WPM OP QQ o <> & " #VSHFNFJTUFS i%PTJNFUSZ XJUI B EJBNPOE PQFSBUJOH BT B SFTJTUPS w 1IZTJDT JO .FEJDJOF BOE #JPMPHZ WPM QQ o <> % 3 ,BOJB . * -BOETUSBTT . " 1MBOP - 4 1BO BOE 4 )BO i%JBNPOE SBEJBUJPO EFUFDUPST w %JBNPOE BOE 3FMBUFE .BUFSJBMT WPM OP o QQ o <> $ .BOGSFEPUUJ i$7% EJBNPOE EFUFDUPST GPS OVDMFBS BOE EPTJNFUSJD BQQMJDBUJPOT w %JBNPOE BOE 3FMBUFE .BUFSJBMT WPM QQ o <> $ .BOGSFEPUUJ ' 'J[[PUUJ & 7JUUPOF 4 #JTUPMĕ . #PFSP BOE 1 1PMFTFMMP i(SBJO TJ[F FČFDUT JO $7% EJBNPOE EFUFDUPST w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> $ .BOGSFEPUUJ ' 'J[[PUUJ & 7JUUPOF FU BM i*#*$ JOWFTUJHBUJPOT PO $7% EJBNPOE w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> . +BLÝJʉ 5 5BEJʉ * 0SMJʉ 5 0TJQPXJD[ & 7JUUPOF BOE $ .BOGSFEPUUJ i*NBHJOH PG DIBSHF DPMMFDUJPO QSPQFSUJFT PG $7% EJBNPOE VTJOH IJHISFTPMVUJPO JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF UFDIOJRVF XJUI QSPUPOT BOE BMQIB QBSUJDMFT w /FX %JBNPOE BOE 'SPOUJFS $BSCPO 5FDIOPMPHZ WPM OP QQ o <> $ .BOGSFEPUUJ ' 'J[[PUUJ " -P(JVEJDF FU BM i*PO NJDSPCFBN BOBMZTJT PG $7% EJBNPOE w %JBNPOE BOE 3FMBUFE .BUFSJBMT WPM OP QQ o .

(26) <> 1 + 4FMMJO " -PITUSPI " 8 %BWJFT FU BM i$IBSHF USBOTQPSU JO QPMZDSZTUBMMJOF BOE TJOHMF DSZTUBM TZOUIFUJD EJBNPOE VTJOH JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF JNBHJOH w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> - .JMB[[P BOE " .BJOXPPE i.PEFMMJOH PG EJBNPOE EFUFDUPST FČFDUT PG UIF QPMZDSZTUBMMJOF TUSVDUVSF BOE B QVMTF TIBQF BOBMZTJT w %JBNPOE BOE 3FMBUFE .BUFSJBMT WPM OP o QQ o <> 4 . )FBSOF % / +BNJFTPO & 5SBKLPW 4 1SBXFS BOE + & #VUMFS i5FNQFSBUVSFEFQFOEFOU FNQUZJOH PG HSBJOCPVOEBSZ DIBSHF USBQT JO DIFNJDBM WBQPS EFQPTJUFE EJBNPOE w "QQMJFE 1IZTJDT -FUUFST WPM OP QQ o <> $ .BOGSFEPUUJ & 7JUUPOF $ 1BPMJOJ 1 0MJWFSP BOE " -P (JVEJDF i#MVF MJHIU TFOTJUJ[BUJPO PG $7% EJBNPOE EFUFDUPST w %JBNPOE BOE 3FMBUFE .BUFSJBMT WPM OP o QQ o <> $ .BOGSFEPUUJ ' 'J[[PUUJ 1 1PMFTFMMP FU BM i*#*$ BOE *#*NJDSPTDPQZ BQQMJFE UP BEWBODFE TFNJDPOEVDUPS NBUFSJBMT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM o QQ o <> . # ) #SFFTF 1 + 4FMMJO - $ "MWFT " 1 ,OJHIUT 3 4 4VTTNBOO BOE " + 8IJUFIFBE i*NBHJOH PG DIBSHF USBOTQPSU QSPQFSUJFT JO QPMZDSZTUBMMJOF $7% EJBNPOE VTJOH *#*$ BOE *#*- NJDSPTDPQZ w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> ) 1FSOFHHFS 4 3PF 1 8FJMIBNNFS FU BM i$IBSHFDBSSJFS QSPQFSUJFT JO TZOUIFUJD TJOHMFDSZTUBM EJBNPOE NFBTVSFE XJUI UIF USBOTJFOUDVSSFOU UFDIOJRVF w +PVSOBM PG "QQMJFE 1IZTJDT WPM "SUJDMF *% QBHFT <> $ .BOGSFEPUUJ ' 'J[[PUUJ , .JSSJ FU BM i" NJDSP*#*$ DPNQBSJTPO CFUXFFO OBUVSBM BOE $7% EJBNPOE w %JBNPOE BOE 3FMBUFE .BUFSJBMT WPM OP o QQ o <> $ .BOGSFEPUUJ ' 'J[[PUUJ 1 1PMFTFMMP BOE & 7JUUPOF i*#*$ JOWFTUJHBUJPO PG SBEJBUJPOJOEVDFE FČFDUT JO $7% BOE OBUVSBM EJBNPOE w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM OP QQ o <> " -PITUSPI 1 + 4FMMJO 4 (LPVNBT FU BM i*PO CFBN JOEVDFE DIBSHF *#*$ JSSBEJBUJPO EBNBHF TUVEZ JO TZOUIFUJD TJOHMF DSZTUBM EJBNPOE VTJOH .F7 QSPUPOT w 1IZTJDB 4UBUVT 4PMJEJ WPM OP QQ o <> " -PITUSPI 1 + 4FMMJO 4 ( 8BOH FU BM i&ČFDU PG EJTMPDBUJPOT PO DIBSHF DBSSJFS NPCJMJUZMJGFUJNF QSPEVDU JO TZOUIFUJD TJOHMF DSZTUBM EJBNPOE w "QQMJFE 1IZTJDT -FUUFST WPM OP "SUJDMF *% QBHFT <> % "TOFS BOE $&3/3% DPMMBCPSBUJPO i/VDMFBS JOTUSVNFOUT BOE NFUIPET JO QIZTJDT SFTFBSDI w %JBNPOE 1JYFM .PEVMFT WPM OP 4 4 QBHFT <> " -P (JVEJDF 1 0MJWFSP $ .BOGSFEPUUJ FU BM i-BUFSBM *#*$ DIBSBDUFSJ[BUJPO PG TJOHMF DSZTUBM TZOUIFUJD EJBNPOE EFUFDUPST w 1IZTJDB 4UBUVT 4PMJEJ WPM OP QQ o <> ' /BWB ( #FSUVDDJP " $BWBMMJOJ BOE & 7JUUPOF i4JMJDPO DBS CJEF BOE JUT VTF BT B SBEJBUJPO EFUFDUPS NBUFSJBM w .FBTVSFNFOU 4DJFODF BOE 5FDIOPMPHZ WPM OP "SUJDMF *% <> $ .BOGSFEPUUJ ' 'J[[PUUJ " -P (JVEJDF $ 1BPMJOJ & 7JUUPOF BOE ' /BWB i*OWFTUJHBUJPO PG )4J$ 4DIPUULZ EJPEFT CZ JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF *#*$ UFDIOJRVF w "QQMJFE 4VSGBDF 4DJFODF WPM OP o QQ o <> " - (JVEJDF ' 'J[[PUUJ $ .BOGSFEPUUJ & 7JUUPOF BOE ' /BWB i"WFSBHF FOFSHZ EJTTJQBUFE CZ NFHBFMFDUSPOWPMU IZESPHFO BOE IFMJVN JPOT QFS FMFDUSPOIPMF QBJS HFOFSBUJPO JO )4J$ w "QQMJFE 1IZTJDT -FUUFST WPM OP "SUJDMF *% QQ o . *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF <> . +BLÝJʉ ; #PTOKBL % (SBDJO FU BM i$IBSBDUFSJTBUJPO PG 4J$ CZ *#*$ BOE PUIFS *#" UFDIOJRVFT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> " - (JVEJDF : (BSJOP $ .BOGSFEPUUJ 7 3JHBUP BOE & 7JUUPOF i"OHMF SFTPMWFE *#*$ BOBMZTJT PG )4J$ 4DIPUULZ EJPEFT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> , , -FF 5 /JTIJKJNB 5 0ITIJNB BOE % / +BNJFTPO i*PO CFBN JOEVDFE DIBSHF HBUF SVQUVSF PG PYJEF PO )4J$ w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> & 7JUUPOF 7 3JHBUP 1 0MJWFSP FU BM i5FNQFSBUVSF EFQFOEFOU *#*$ TUVEZ PG )4J$ 4DIPUULZ EJPEFT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> 4 EFM 4PSEP - "CCFOF & $BSPMJ " . .BODJOJ " ;BQQFUUJOJ BOE 1 6CFSUJOJ i1SPHSFTT JO UIF EFWFMPQNFOU PG $E5F BOE $E;O5F TFNJDPOEVDUPS SBEJBUJPO EFUFDUPST GPS BTUSPQIZTJDBM BOE NFEJDBM BQQMJDBUJPOT w 4FOTPST WPM OP QQ o <> 1 + 4FMMJO " 8 %BWJFT 4 (LPVNBT FU BM i*PO CFBN JOEVDFE DIBSHF JNBHJOH PG DIBSHF USBOTQPSU JO $E5F BOE $E;O5F w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> Ç 1BTUVPWJʉ . +BLÝJʉ 3 # +BNFT , $IBUUPQBEIZBZ 9 .B BOE " #VSHFS i*OĘVFODF PG FMFDUSJDBM DPOUBDUT PO DIBSHF DPMMFDUJPO QSPĕMFT JO $E;O5F TUVEJFE CZ *#*$ w /VDMFBS *OTUSV NFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM OP QQ o <> $ .BOGSFEPUUJ ' 'J[[PUUJ 1 1PMFTFMMP FU BM i*OWFTUJHBUJPO PO UIF FMFDUSJD ĕFME QSPĕMF JO $E5F CZ JPO CFBN JOEVDFE DVSSFOU w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM OP QQ o <> & 7JUUPOF ' 'J[[PUUJ " -P (JVEJDF 1 1PMFTFMMP BOE $ .BOGSFEPUUJ i4JNVMBUJPO PG B $E5F HBNNB SBZ EFUFDUPS CBTFE PO DPMMFDUJPO FďDJFODZ QSPĕMFT BT EFUFSNJOFE CZ MBUFSBM *#*$ w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM OP QQ o <> ( 7J[LFMFUIZ # " #SVOFUU % 4 8BMTI 3 # +BNFT BOE # - %PZMF i*OWFTUJHBUJPO PG UIF FMFDUSPOJD QSPQFSUJFT PG $BENJVN ;JOD 5FMMVSJEF $;5 EFUFDUPST VTJOH B OVDMFBS NJDSPQSPCF w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM OP QQ o <> ; .FEVOJD . +BLÝJʉ ; ; 1BTUVPWJʉ BOE / 4LVLBO i5FNQFSBUVSF EFQFOEFOU 53*#*$ JO $;5 EFUFDUPST w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> ; .FEVOJD ; 1BTUVPWJʉ . +BLÝJʉ BOE / 4LVLBO i4UVEZJOH PG USBQ MFWFMT CZ UIF VTF PG GPDVTFE JPO CFBNT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> " #PTJP / 3PNFP 4 .B[[BNVUP BOE 7 $BOFWBSJ i1PMZDSZT UBMMJOF $E5F UIJO ĕMNT GPS QIPUPWPMUBJD BQQMJDBUJPOT w 1SPHSFTT JO $SZTUBM (SPXUI BOE $IBSBDUFSJ[BUJPO PG .BUFSJBMT WPM OP QQ o <> / #BJFS " #SBNCJMMB ( 'FVJMMFU " -PITUSPI 4 3FOFU BOE 1 4FMMJO i&#*$ BOE *#*$ *NBHJOH PO 1PMZDSZTUBMMJOF $E5F w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM OP QQ o .

(27) *43/ .BUFSJBMT 4DJFODF <> & $PMPNCP " #PTJP 4 $BMVTJ FU BM i*#*$ BOBMZTJT PG $E5F$E4 TPMBS DFMMT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> 5 /JTIJKJNB ) 4FLJHVDIJ 4 .BUTVEB FU BM i4UVEZ PG CBTJD NFDIBOJTNT PG TJOHMF FWFOU VQTFU JO MPXDBQBDJUBODF 4J BOE (B"T EJPEFT VTJOH IJHIFOFSHZ NJDSPCFBNT w /VDMFBS *OTUSV NFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> 5 /JTIJKJNB ) 4FLJHVDIJ 4 .BUTVEB BOE / 4IJPOP i3FTFBSDI PG 4J BOE (B"T EJPEF TUSVDUVSFT CZ *PO #FBN *OEVDFE $IBSHF *#*$ DPMMFDUJPO w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> ' /BWB 1 7BOOJ $ $BOBMJ FU BM i"OBMZTJT PG 6OJGPSNJUZ PG BT 1SFQBSFE BOE *SSBEJBUFE 4* (B"T 3BEJBUJPO %FUFDUPST w *&&& 5SBOTBDUJPO PO /VDMFBS 4DJFODF WPM OP QQ o <> & 7JUUPOF ' 'J[[PUUJ , .JSSJ FU BM i*#*$ BOBMZTJT PG HBMMJVN BSTFOJEF 4DIPUULZ EJPEFT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> & 7JUUPOF 1 0MJWFSP ' /BWB FU BM i-BUFSBM *#*$ BOBMZTJT PG (B"T 4DIPUULZ EJPEFT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> $ :BOH " #FUUJPM % +BNJFTPO FU BM i*OWFTUJHBUJPO PG MJHIU FNJUUJOH EJPEFT VTJOH OVDMFBS NJDSPQSPCFT w /VDMFBS *OTUSV NFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP QQ o <> . +BLÝJʉ Ç 1BTUVPWJʉ BOE 5 5BEJʉ i/FX EFWFMPQNFOUT JO *#*$ GPS UIF TUVEZ PG DIBSHF USBOTQPSU QSPQFSUJFT PG SBEJBUJPO EFUFDUPS NBUFSJBMT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> ; 1BTUVPWJʉ & 7JUUPOF * $BQBO BOE . +BLÝJD i1SPCBCJMJUZ PG EJWBDBODZ USBQ QSPEVDUJPO JO TJMJDPO EJPEFT FYQPTFE UP GPDVTFE JPO CFBN JSSBEJBUJPO w "QQMJFE 1IZTJDT -FUUFST WPM "SUJDMF *% QBHFT <> *"&" i6UJMJ[BUJPO PG JPO BDDFMFSBUPST GPS TUVEZJOH BOE NPE FMMJOH PG SBEJBUJPO JOEVDFE EFGFDUT JO TFNJDPOEVDUPST BOE JOTV MBUPST w ' $PPSEJOBUFE 3FTFBSDI 1SPHSBNNF o IUUQXXXDSQJBFBPSHIUNMSJGBTIPXBDUJWFDSQBTQ <> . +BLÝJʉ ; .FEVOJʉ . #PHPWBD BOE / 4LVLBO i3BEJBUJPO EBNBHF NJDSPTUSVDUVSFT JO TJMJDPO BOE BQQMJDBUJPO JO QPTJUJPO TFOTJUJWF DIBSHFE QBSUJDMF EFUFDUJPO w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM OP o QQ o <> ( 1FMMFHSJOJ 1 3PZ 3 #BUFT FU BM i5FDIOPMPHZ EFWFMPQNFOU PG % EFUFDUPST GPS IJHIFOFSHZ QIZTJDT BOE JNBHJOH w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI " WPM OP QQ o <> $&3/ 3% $PMMBCPSBUJPO i3BEJBUJPO IBSE TFNJDPOEVDUPS EFWJDFT GPS WFSZ IJHI MVNJOPTJUZ DPMMJEFST w IUUQSEXFC DFSODISE <> 1 0MJWFSP + 'PSOFSJT . +BLÝJD FU BM i'PDVTFE JPO CFBN GBCSJDBUJPO BOE *#*$ DIBSBDUFSJ[BUJPO PG B EJBNPOE EFUFDUPS XJUI CVSJFE FMFDUSPEFT w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> - . +POH + / /FXOIBN $ :BOHH FU BM i$IBSHF TIBSJOH JO NVMUJFMFDUSPEF EFWJDFT GPS EFUFSNJOJTUJD EPQJOH TUVEJFE CZ *#*$ w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI # WPM QQ o <> + 'PSOFSJT % / +BNJFTPO ( (JBDPNJOJ $ :BOH BOE & 7JUUPOF i.PEFMJOH PG JPO CFBN JOEVDFE DIBSHF TIBSJOH FYQFSJNFOUT GPS UIF EFTJHO PG IJHI SFTPMVUJPO QPTJUJPO TFOTJUJWF EFUFDUPST w /VDMFBS *OTUSVNFOUT BOE .FUIPET JO 1IZTJDT 3FTFBSDI #*O QSFTT. .

(28)