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ATTORNEY DOCKET
NO.: 71161 INTHE UNITED STATES PATENT AND TRADEMARK OFFICE
Applicant :
RIMEDIOTTI
etal.Serial
No
: 10/680,502 ConfirmNo
: 5507Filed : October7, 2003
For :
VACUUM VAPORIZATION.
Art Unit : 1762 Examiner :
Dated : January 12, 2004
CommissionerforPatents P.O.
Box
1450Alexandria,
VA
22313-1450PRIORITY DOCUMENT
Inconnection withtheabove-identified patent application,Applicant herewithsubmits acertifiedcopy ofthecorrespondingbasicapplicationfiled in
Europe
Number:
EP
02 425 603 Filed: 8/Oct/2002the rightofpriorityofwhich isclaimed.
Respectfully submitted for Applicant(s),
By:
Reg. No.: 31,903
McGLEW AND TUTTLE,
P.C.JJM:jms
Enclosure: -Priority
Document
71161.10
11nil mill
i
DATED:
January 12, 2004SCARBOROUGH STATION
SCARBOROUGH, NEW YORK
10510-0827 (914) 941-5600NOTE:
IFTHERE
ISANY FEE DUE AT THIS TIME, PLEASE CHARGE
ITTO OUR
DEPOSIT ACCOUNT NO.
13-0410AND ADVISE.
I
HEREBY CERTIFY THAT THIS CORRESPONDENCE
ISBEING DEPOSITED WITH THE UNITED STATES POSTAL SERVICE AS EXPRESS MAIL, REGISTRATION NO.
EV323629605US
INAN ENVELOPE ADDRESSED TO: COMMISSIONER FOR
PATENTS,
P.O.BOX
1450,ALEXANDRIA, VA
22313-1450,ON
January 12, 2004McGLEW AND TUTTLE,
P.C.,SCARBOROUGH STATION,
SCARBOROUGH, NEW YORK
10510-0827Bv:
Q^^Ql*L>^.
Date:January 12.200471161.10
inmi
.3 ,
J)
Eur putsches Patentamt
Eur
pean
PatentOfficeOffice europ£ n
des
brevetsBescheinigung Certificate Attestation
Die angehefteten Unterla- gen stimmenmitder ursprQnglich eingereichten Fassungderaufdemnach- sten Blatt bezeichneten europaischen Patentanmel- dung Qberein.
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Lesdocuments fixesa cette attestation sont conformes a laversion initialementdeposee de
lademandede brevet europeen specifieea la page suivante.
Patentanmeldung Nr. Patent application No.
Demande de
brevet n°02425603.4
Der Presidentdes EuropSiscnenPatentamts:
imAuftrag
For the President of the EuropeanPatentOffice LePresidentdeI'Officeeuropeen desbrevets P-o.
RCvan
DijkEPA/EPO/OEBForm1014.1-022000 7001014
Europ&isch Patentsml
European PatentOffice
Office uropeen desbrevets
Anmeldung Nr:
Application no.:
02425603.4
Demande no:
Anmeldetag:
Date of filing:
Date de depot:
08. 10.02
Anmel der/Appl1cant( s)/Demandeur(s)
:
Galileo
Vacuum
Systems S.R.L.Via delle Fonti 432 59100 Prato
ITALIE
Bezelchnung der Erf1ndung/Tltie of the 1nvent1on/Tl tre de
V
Invention:(Falls die Bezelchnung der Erflndung nlcht angegeben 1st, slehe Beschrelbung.
If no title Is shown please refer to the description.
S1 aucun tltre n'est 1nd1qu€ se referer a la description.)
In Anspruch genommene Pr1or1St(en) / Priori ty(les) claimed /Pr1or1t6(s) revendlquee(s)
Staat/Tag/Aktenze1chen/State/Date/F1le no./Pays/Date/Numero de depot:
Internationale Patentklasslf1kat1on/International Patent Classification/
Classification Internationale des brevets:
Am Anmeldetag benannte Vertragstaaten/Contractlng states designated at date of flHng/Etats contractants designees lors du depot:
AT
BE BG CHCY
CZ DEDK
EE ES FIFR
GBGR
IE IT LILU
MCNL PT
SE SKTR
C23C/02425603.4
EPA/EP0/0EB F rm 1014.2 - 01.2000
2
7001014
IMPIANTO
DlVAPORIZZAZIONE SOTTO VUOTO PER LA METALLIZZA- ZIONE
DlUN SUBSTRATO NASTRI FORME A SORGENTI INCLINATE E
SORGENTE PER IMPIANTI
DlVAPORIZZAZIONE SOTTO VUOTO
DESCRIZIONE
5
Campo
tecnicoLa presente
invenzione riguardaun
impianto per la metallizzazione tramite vaporizzazione sottovuoto
diun
substrato nastriforme,ad esempio un
film di materiale plastico su cuideve essere formato un
rivestimento inmetallo o simili.
10
Piu in particolare, I'invenzione riguardaun
impianto divaporizzazione
sottovuoto
per la metallizzazione diun
substrato nastriforme, deltipocom-
prendente:
una
pluralita di sorgenti di vaporizzazione alimentatecon un
metalloche
viene liquefattoe
vaporizzatoda
dette sorgenti,ciascuna sorgente
pre-15 sentando un corpo
ailungatosecondo una
rispettiva direzione longitudi-nale principale;
-
mezzi
di alimentazione del substrato al disopra
delle sorgenti,secondo una
direzione di alimentazione, dette sorgentiessendo
tra loro affiancatesecondo un
allineamentosostanzialmente
ortogonale alia direzione di a-20
limentazione del substratoda
metallizzare;-
mezzi
erogatori di filo metallico alle sorgenti;-
mezzi
per supportaree
riscaldare le sorgenti.Un
diverso aspetto della presenteinvenzione
riguardaun nuovo
tipo di sorgenti divaporizzazione sottovuoto.2 5 Stato dellatecnica
Per
la metallizzazione sottovuoto
di film plasticio
altri substrati nastri- formi continuisono
conosciuti impianti di metallizzazione tramite vaporizza- zione sotto vuoto, in cuiun
substrato informa
di filmod
altro viene svoitoda una bobina
di scorta, rinviato attornoad un
rullo diprocesso e
riawoltosu
3 0
una bobina
di materiale trattato. Nellazona
di rinvio attorno al rullo di proces-so
il substratopassa
di frontead una
serie di sorgenti di vaporizzazioneche
si trovano -
come una
partealmeno
del rullo diprocesso
- inuna camera a Pag.
1/13C:\documenti_michele\descrizioni\gaJ120902.doc
vuoto nella quale si
forma una nube
di materiale metallico vaporizzato dalla sorgente.Questo
materiale metallico si deposita percondensazione
sul sub- stratache
vienesuccessivamente
riawolto sullabobina
di materialetrattato.II
processo e
unprocesso
di tipo discontinue inquanta
singolebobine
di substrata
da
trattarevengono
inserite nell'impianto, I'impianto viene chiusoe
posto sottovuoto, il substrata vienetrattato esuccessivamente
labobina
di substrata trattato e riawolto viene estratta dall'impianto peressere
sostituitacon una nuova
bobinadi substrata nastriformeda
trattare.Una
descrizione delle caratteristiche dei problemi di questi impiantipud
essere trovata in G: Tonini, F. Grazzini, N. Merlini,«A New Generation
of Film Metallizing» in Paper, Film&
Foil Converter, Febbraio 1980.Le
sorgenti di vaporizzazionepossono
avere configurazioni diverse.Fra queste
sono
conosciute sorgenti di vaporizzazione in materiale elettrica-mente
conduttivo,che vengono
scaldate tramitepassaggio
diretto di corren-te.
La
sorgente e realizzata inquesto caso
sottoforma
di barra in materiale conduttivoad esempio un
materialeceramico o
in polveri metalliche sinteriz- zate.La
barra presentauno
sviluppo allungatosecondo una
direzione longi- tudinale principale.La
sorgente presentauna
configurazionetaleda consen-
tire la
formazione
diuna pozza
di metallo fuso sulla propria superficie rivoltaverso
il substratada
metallizzare.Questa
configurazione e in generale costi- tuitada una
cavita,che pud essere
definitada una
porzionescavata o
ribas- sata della superficie della barra conduttiva. In alternativa,ed
inmodo
di perse
conosciuto lapozza puo
venire formata in corrispondenza di leggeree
quasi impercettibili incisioni superficiali realizzate sulla barra. In entrambi icasi si
forma una
sortadi cavita sulla superficie superiore della barraforman-
te la sorgente. In questazona
si depositano legocce
di metallo fuso ottenute dal riscaldamento del filo metallico,usualmente
alluminio, per formareuna pozza da
cui il metalloevapora.II metallo viene vaporizzato in
modo
continuoe continuamente
alimen- tato alia sorgente sottoforma
di filoche
viene svoltoda una
bobina.Una
de- scrizione di questotipo di sorgentipud essere
ritrovata inAA. W, «Veredeln
von
Kunstoff-Oberflachen», CarlHanser
Verlag, Miinchen,Wien,
1974,Pag. 2/13
C:\documenti_micheie\descrizioni\gall20902.doc
pag.
120 e
segg.,ed
inUS-A-5,321
,792.Uno
degli aspetti piu delicati diqueste
sorgentie
di questi impianti e rappresentato dalla necessita di depositare rivestimenti di metalloestrema- mente
regolari sul substrateche
transita al disopra
delle sorgenti.A
tale5
scopo sono
state studiate particolari disposizioni delle sorgentiche tendono a
ridurre il piu possibile la disuniformita nelle caratteristiche dello strato deposi-
tato.
Un
ulteriore aspetto critico degli impianti di metallizzazione sottovuoto
e rappresentato dalla velocita diproduzione
raggiungibile.Questa dipende 10
infatti dalla quantita di metallo vaporizzabile nell'unita ditempo e
quindi, in definitiva, dallaestensione
deltasuperficie di vaporizzazione. Nelle sorgentia
riscaldamento diretto,
che presentano una forma
allungata nelverso
di ali-mentazione
del substrateed una
cavita per it metallofuso,e
in teoria possibi-le
aumentare
ladimensione
in pianta della cavityper aumentare
la superficie15
di metallo evaporante. Tuttavia, per effetto dellatensione
superficiaie nel li-quido, il metallo fuso si
dispone
nella cavitasenza
riempirla integralmente,ma formando una pozza
diforma
circolareod
ellittica.Conseguentemente,
la superficie divaporizzazione
eminore
della superficie della cavitae non puo essere aumentata. Un aumento
delnumero
di sorgenti divaporizzazione
tro- 20 va, d'altrocanto,un
limite nel costoe
nelledimensioni delle sorgenti.Un esempio
diuna
soluzione particolare nella disposizione delle sor- genti si ritrova inDE-A-4027034. Qui
le sorgentisono
dispostetra loro affian- cate inuna
direzione ortogonale alverso
diavanzamento
del substrate na- striformee
risultanoleggermente
sfalsateuna
rispetto ail'altra nella direzione25
diavanzamento
del substrate.Scopi
esommario
deirinvenzioneScopo
della presente invenzione e la realizzazione diun
impianto dimetallizzazione sotto
vuoto che consenta
diaumentare
la superficie del liqui-do evaporante e
quindi la quantita di metalloevaporate mantenendo
inaltera-30
to ilnumero
di sistemi riscaldanti, cioe di sorgenti,e
diaumentare
la regolari- ta del rivestimento depositato sul substrate.Questi
ed
ulteriori scopie
vantaggi,che
risulteranno chiari agli espertiPag.
3/13C:\documentLmichele\descrizioni\gal120902.doc
del
ramo
dalla lettura del testoche segue sono
ottenuti insostanza con un
impianto di vaporizzazione sotto vuoto del tiposopra
menzionato, caratteriz- zato dal fattoche ciascuna
delle sorgenti e predisposta performare
su di es-sa almeno due pozze
di metallo fuso, preferibilmente disposte inmodo da
ri-5 sultare circa allineate
secondo
la direzione longitudinale principale della sor-gente
stessa,che ciascuna
di dettepozze
di metallo fusoe
alimentatada un
rispettivo filo metallico erogato
da un
rispettivomezzo
erogatore,e che
dette sorgentisono
dispostecon
la propria direzione longitudinale principale incli-nata rispetto alia direzione di alimentazione del substrato di
un angolo
diver-10 so da
0°e da
90°.La
formazione didue
o piupozze consente
diaumentare
la superficie di metallo fuso e quindi la quantita di materiale depositato sottovuoto
sul substrato.Le pozze possono
essere formate in cavita definiteda zone
inciseo
ribassate sullasuperficie della barraformante
la sorgente.15
Inoltre, la disposizione inclinata rispetto alia direzione di alimentazione del substratoda
metallizzare permette diaumentare
la uniformita delladepo-
sizione.
Prevedendo
laformazione
didue o
piupozze su una
stessa sorgente, la superficie dello specchio di metallo fuso contenuto nella sorgente divapo-
rizzazionee
fisicamente suddiviso indue
parti o piu parti.Conseguentemen-
te, si riesce
ad
ottenere superfici evaporanti particolarmente estese e quindiuna
deposizione di elevate quantita di metallo per unita di superficie del sub-strato.
Benche
sia possibile ipotizzare I'impiego diuna
singola cavita di eleva-25
tadimensione
longitudinale, alimentata alle proprie estremitada due
fili dimetallo, in tal
caso
idue
filifondendo formerebbero due pozze
di metallo a- diacenti nella stessa cavita,pozze che
verrebbero inmodo
del tutto casualea
toccarsiad esempio a causa
della caduta dellegocce
di metallo fuso. II contatto tra lepozze
di metallo fuso nella stessa cavitapud
dar luogoa
per-30
turbazioni,ed anche a
schizzi di metallo liquido verso il substrato,con
con-seguente danneggiamento
del substrato stesso. Questi inconvenient!sono
evitati suddividendo fisicamente la cavita in due, cos)
che ciascuna pozza
diPag. 4/13
C:\documenti_michele\descrizioni\gall20902.doc
20
metallo risulta isolata dall'altra.
La
suddivisione dellazona evaporante
indue
cavitepresenta anche un
ulteriore vantaggio:
quando una goccia
di metallocade
sullasorgente per
ri-pristinare il materiale
evaporato, essa
induce perturbazionidovute
alia pro- 5pagazione
delleonde
superficialiche
interessanouna
superficie pari aliame-
ta della superficie
vaporizzante complessiva, con conseguente maggiore
uni- formity nelladeposizione
del metallo sul substrato.Ulteriori
vantaggiose
caratteristiche deirimpiantoe
delle sorgenti se-condo
Tinvenzionesono
indicate nelle allegate rivendicazioni.10 Breve
descrizione dei disegniII trovato verr&
meglio compreso seguendo
la descrizionee
I'unito di-segno,
il qualemostra una
pratica esemplificazionenon
Iimitativa del trovato stesso. Neldisegno
laFig. 1
mostra una
vista lateraleschematica
diun
impianto di metalliz-15
zazione; laFig.
2 mostra un
dettaglio in vista laterale diuna sorgente e
dei relativimezzi
di alimentazione del filo metallico; leFigg.3,
4 e 5 mostrano
viste in pianta di possibili configurazioni delle sorgenti,con formazione
didue o
trepozze
di metallo fuso;e
le2 0 Figg.
6 e
7mostrano
viste in piantaschematiche
didue
possibili di-sposizioni delle sorgenti airinterno deirimpianto, nel
primo caso con
alimen- tazione didue
fili di metalloe formazione
didue pozze
di metallo, nelsecon- do caso con
alimentazione di tre fili di metalloe formazione
di trepozze.
Descrizione dettagliata della
forma
di attuazione preferita deirinvenzione25
In Fig. 1e molto schematicamente
rappresentato in vista lateralerinterno di
un
impianto di metalfizzazione perlavaporizzazione
sottovuoto.Esso comprende un
contenitore 3 in cuisono
alloggiatidue
support!5
e7
per lebobjne
del substrato nastriformeda
metallizzare. Sulsupporto 5 e
dispostauna bobina B1
di substratoancora da
trattareche viene
alimentato30 lungo un
percorso dialimentazione
definitoda
rulli di rinvio 9, 1 1 , 13, 15, 17.Sul
supporto 7
si trovauna seconda bobina
in formazione,su
cui siawolge
ilsubstrato
dopo
la metallizzazione.Pag.
5/13C:\documenti_michele\descrizioni\gal120902.doc
Fra il rullo 11
ed
II rullo 13 e dispostoun
rullo diprocesso 19
dimag-
giore diametro
che sporge
parzialmente all'interno diuna camera
21 separa-ta, tramite
una
parete 23, dallacamera
sovrastante25 dove sono
disposti isupporti
5 e
7 per lebobine
di substrato.La camera
21 emantenuta
sottoun
5grado
di vuoto piu spinto rispetto aliacamera
25. Esistonoanche
impianti incui la parete di
separazione 23
e la suddivisione incamere
21 e25 non
esi- ste. Inquesto caso
labobina
in svolgimento, labobina
di riawolgimento, il percorso del substrato N, il rullo diprocesso 19
e le sorgenti di vaporizzazio-ne
sitrovano tutte nellastessacamera.
-0 II substrato nastriforme
N
svolto dallabobina
B1 e rinviato intorno al rullo diprocesso 19
vienegradualmente
riawoltoa
formareuna bobina
disubstrato metallizzato sul supporto 7.
Durante
lo svolgimento, nelpassaggio
attorno al rullo diprocesso
19, sulla superficienon
in contattocon
il rullo diprocesso 19
del substrato nastriformeN
viene depositatoun
metalloche e
5 stato vaporizzatoda una
serie di sorgenti 31che
si trovano nellacamera
21al di sotto del rullo di
processo
19.Con V
eschematicamente
indicato ilma-
terial vaporizzato
emesso
dalle sorgenti 31,che sono
tra loro affiancate se-condo un
aliineamento ortogonale aliadirezioneFN
diavanzamento
del sub-strato N, cioe
ortogonalmente
al piano della figura.Una
sola sorgente e visi-) bile quindi in Fig.1
La
struttura dell'impianto di metallizzazionepud
variaree quanto
rap- presentato in Fig. 1e
esclusivamenteun esempio schematico ed
diun
pos- sible impianto in cuipud
essereattuata I'invenzione.La
Fig.2 mostra
inuna
vista laterale ingranditauna
sorgente 31 dell'impianto di Fig. 1.
Questa
sorgentee
costituitada una
barretta33
inma-
teriale elettricamente conduttivo resistente
ad
elevate temperature, tipica-mente
nell'ordine di150(TC. Essa
presentauno
sviiuppo allungatosecondo una
direzione longitudinaleprincipale, indicatacon
DL,U
barretta 33,anche denominata tecnicamente
navicella, e supporta- tada mezzi
di supportomeccanico che
fornisconoanche un
contatto elettricoad una
linea di alimentazionea bassa
tensione. Nell'esempio illustrato ven-gono
previstedue colonne 35
solidaliad una
piastra di supporto 37.Le
co-Pag. 6/13
C:\documenti_michele\descrizioni\gal1
20902.doc
lonne 35 sono
elettricamente conduttivee
collegatea due
conduttori elettrici39
tramite i quali nella navicella33 viene
fatto circolareun
flusso di correnteche
per effetto Joule dissipa calore riscaldando la barrettao
navicella 33.Come mostrato
in dettaglio nelf'esempio di Fig. 3ciascuna
barrettao
5 navicella
33
diciascuna sorgente
31presenta due
cavita 41 A, 41B
dimode-
sta profondita,
con un fondo piano ed uno
sviluppo in piantasostanzialmente
rettangolare (vedasi Fig.3). Inqueste
cavita 41A, 41B
siformano
dellepozze
di metallo liquefatto,
che vaporizza assorbendo
il caloregenerato
per effettoJoule
dal flusso di corrente attraverso la barrettao
navicella 33.10 Per mantenere alHnterno
delle cavita 41A, 41B
il desiderato livedo dimetallo liquido
e
quindi reintegrare il metalloche viene erogato
dallasorgen-
te per vaporizzazione,vengono
previstidue
separatimezzi
dierogazione
diun
filo metallicoche e
destinatoa
venire fuso tramiteriscaldamento
per ir-raggiamento da
parte della barretta33 ed a cadere a gocce
nelle cavita 41A
15 e41B.
I
mezzi
erogatori del filo metallicosono schematicamente
indicati in Fig.2 e possono assumere forme
diverse. Questimezzi
erogatorisono
del tipo di pers6 conosciuto e non vengono
descritti in particolare dettaglio inquesta
sede.Schematicamente
nell'esempio illustrato essiprevedono un 20
rocchetto 51 di filo metallico F,una coppia
di cilindretti 53,uno almeno
dei qualie
motorizzato,per
la trazione del filo metallicoF ed
ilsuo svolgimento
dal rocchetto 51e
I'alimentazione attraversoun
tubetto diguida
55. II filome-
tallico
F
fuoriesce dal tubetto55
inuna zona
sovrastante la rispettiva cavita41Ao41B.
25
L'estremita libera del filoF
fuoriuscente dal tubetto55 fonde
gradual-mente
per effetto del calore sviluppato dalla correnteche
fluisce nella barret- ta navicella 33.Le gocce
di metallo fusocadono
nella rispettiva cavitae
va- porizzano.Opportuni
sisteminon
mostratie
di perse
conosctutimantengono
la
lunghezza necessaria
di filoF sporgente
dal tubetto55 e comandano
il30
graduale svolgimento
del filoF
tramite i cilindretti53
dal rocchetto 51.
La presenza
didue
cavita distintesu ciascuna
barrettao
navicella33 e
I'alimentazione diciascuna
diesse
tramiteun
filo metallicoseparato
fa siPag. 7/13
C:\documentLmichele\descrizioni\gal120902.doc
che
le perturbazioni indotte dallacaduta
dellegocce
di metallo fuse- nellepozze
formatisi nelle cavita 41 A, 41B
siano limitate,con
cid contribuendoad
uniformita del rivestimento del substrata M.Nell'esempio di Fig.4 la barretta
o
navicella33
presentaancora mezzi
5 per formaredue pozze
di metallo fuso, tra loro distanziate, cioe fisicamente separate,ed
allineate lungo la direzione longitudinale principaleDL
della bar- retta 33. In questo caso, lezone
in cuivengono
formate lepozze
di metallo fusosono
costituiteciascuna da una
serie di incisioni superficiali della barret- ta,ad andamento
linearee
tra loromaggiormente
accostate nellazona
cen-10
trale.Queste due
disposizioni di incisionisono ancora
indicatecon
41A e
41B e vengono
alimentatecon due
fiii di metallo inmodo analogo a quanta
descritto in precedenza. In realta i'incisione
pud non comportare una
aspor- tazione di materiale sostanziale, cosiche a ciascuna
incisionenon
corri-sponde una
scanalatura ne| materiale, bensiad esempio unicamente una
al-ls
terazione delle caratteristiche superficiali del materiale stesso,come ad
e-sempio una
alterazione dellasua
rugosita,avente
loscopo
di modificare latensione superficiale nel contatto tra barretta e metallo fuso,
e
quindi la ba- gnabilita della superficie della sorgente,con conseguente
delimitazione dellazona
interessata aliapozza
di metallo fuso.Le
incisionipossono anche
esse-20 re continue,
come
mostratoa
tratteggio in figura.Questo
tipo di lavorazione per incisione e di perse
nota agli esperti del settore,ma non e
stata utilizzata per la realizzazione diquesto
tipo di sorgenti.Le
linee di incisionesono
tipi-camente
realizzatecon una
lavorazione laser.In Fig.5 e mostrata
una
barrettaanaloga a
quella di Fig.3,ma con
tre 5 cavita 41A, 41B, 41 C, tra loro allineatesecondo
la direzione longitudinale principale DL, per formare trepozze
distinte e separate di metallo fuso.An- che
in questocaso
le cavitapossono essere
sostituite inmodo
equivalenteda
incisionicome
descrittocon
riferimentoalia Fig.4.,
Come
mostrato nella vista in pianta di Fig.6, in cui e visibile in pianta 0una
serie di sorgenti del tipo illustrato in Fig.3, lesorgenti 31
vengono
tra loro accostatesecondo un
allineamento A, trasversale rispetto alia direzione dialimentazione del substrata
ed
in particolare ortogonale alia direzione di ali-Pag. 8/13
C:\documenti_michele\descrizioni\gal120902.doc
mentazione FN
del substratoda
metallizzare.Le varie sorgenti 31sono
di-sposte
tra loro parallels, cio&con
la rispettiva direzione longitudinale princi- paleDL
orientatasecondo una stessa
direzionecomune. Ciascuna
delle sorgenti 31e
disposta rispetto alia direzioneFN
di alimentazione del substra- 5 tocon un orientamento
taleper
cuiesse assumono una
configurazionea
«lisca
dipesce».
In pratica la direzione longitudinale principaleDL
di cia-scuna
sorgente 31forma un angolo compreso ad esempio
tra 15°e 60°
ri-spetto alia direzione
FN e
preferibilmente fra20° e
50°. Nell'esempio illustra- te le sorgentihanno una
inclinazione di30°
rispetto alia direzioneFN.
In10 questo modo
siha una sovrapposizione
tra le variepozze
di metallofuso
nel- la direzioneFN
dialimentazione
del substratoda
metallizzare, equesto con- sente
di ottenereuna maggiore
uniformita dideposizione
rispetto alia tradi- zionale disposizione delle sorgenti parallelamente alia direzioneFN.
Ciascuna sorgente viene
alimentatacon due
fili di metallo erogatida 15
partiopposte
della batteria di sorgenti tra loro allineate lungo I'allineamento A.Uallineamento A e
preferibilmente orientatoa 90°
rispetto alia direzioneFN, ma
sideve comprendere che scostamenti ragionevolmente
limitatida
questa
disposizionesono
possibili.In Fig.7
e mostrata una
vista in piantaanaloga
alia vista di Fig. 6,con 20
I'impiego di sorgentia
trepozze
del tipo illustrato in Fig.5.Ciascuna sorgente
e alimentatada
tre fili di metallo, erogatida
rocchetti disposti alternativamen- te suidue
lati della batteria di sorgenti31.
E' inteso
che
ildisegno mostra
soloun esempio
di attuazione dell'invenzione,che pud
variare nelleforme e
disposizionisenza
peraltro u- 2 5 scire dalParnbito del concetto aliabase
delPinvenzione.Ad esempio,
i roc- chetti dei fili di metallopossono essere
disposti inmodo
diverso rispettoa quanto
illustrato. Inoltre sipossono
ipotizzareanche
disposizioni multiple di quella illustrata,ad esempio con due
batterie affiancate di sorgenti 31, le sorgenti diuna
batteriaformando con
la direzione di alimentazioneFN
del30
substrato nastriformeun angolo
diverso rispetto alle sorgenti delPaltra batte-ria.
Pag.
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R1VEND1CAZIONI
1
.
Un
impianto di vaporizzazione sottovuoto
per la metallizzazione diun
substrato nastriforme,comprendente:
-
una
pluralita di sorgenti di vaporizzazione alimentatecon un
metalloche
viene liquefatto e vaporizzatoda
dette sorgenti,ciascuna
sorgente pre-sentando un corpo
allungatosecondo una
rispettiva direzione longitudi- nale principale;-
mezzi
di alimentazione di dettosubstrato al disopra
di dette sorgenti, se-condo una
direzione di alimentazione, dette sorgentiessendo
tra loro af- fiancatesecondo uh
allineamento sostanzialmente ortogonalea
detta di-rezione di alimentazione;
-
mezzi
erogatori di filo metallicoa
dette sorgenti;-
mezzi
per supportaree
riscaldare dette sorgenti;caratterizzato dal fatto
che
ciascuna di dette sorgentie
predisposta per for-mare su
diessa almeno due pozze
di metallo fuso,che ciascuna
di dettepozze
di metallo fusod
alimentatada un
rispettivo filo metallico erogatoda un
rispettivomezzo
erogatore, eche
dette sorgentisono
dispostecon
la pro- pria direzione longitudinale principale inclinata rispetto alia direzione di ali-mentazione
del substrato diun
angolo diversoda
0° eda
90°.2. Impianto
come da
rivendicazione 1, caratterizzato dal fattoche
dettealmeno due pozze
diciascuna
sorgentesono
tra loro allineate circa se-condo
ladirezione longitudinale principale dellasorgente
stessa.3. Impianto
come da
rivendicazione 1o
2, caratterizzato dal fattoche
I'angolofra la direzione longitudinale principale diciascuna
sorgentee
ladirezione di alimentazione del substrato e tale
da
posizionare reciprocamentele
pozze
di metallo liquido di sorgenti adiacentialmeno
parzialmente sfalsatelungo
la direzione di detto allineamento, sostanzialmente ortogonale alia di-rezione di alimentazione del substrato. .
4. Impianto
come da
rivendicazione 1o 2
o 3, caratterizzato dal fattoche
ciascuna di dette sorgenti presentaalmeno due zone con una
ri-spettiva
depressione
superficiale per formareuna
rispettivapozza
di metallo fuso.Pag. 10/13
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5. Impianto
come da
rivendicazione 4, caratterizzato dal fattoche ciascuna
di dette depressioni superficial!e formata da una
plurality di linee di incisione superficiale.6. Impianto
come da
rivendicazione 1 , 2o
3, caratterizzato dal fat- 5 toche ciascuna
di dette sorgentipresenta almeno due zone
per laformazio- ne
dipozze
di metallo liquido,ciascuna zona essendo
definita in corrispon-denza
diuna
pluralita di linee di trattamento superficiale.7. Impianto
come da
rivendicazione 6, caratterizzato dal fattoche
dette linee di trattamento superficiale
sono
linee di incisione superficiale.10
8. Impiantocome da
rivendicazione 4, caratterizzato dal fattoche ciascuna
di dette depressioni superficial!e formata da una
singolaporzione
di superficie ribassata di detta sorgente.
9. Impianto
come da una o
piu delle rivendicazioni precedent!, ca- ratterizzato dal fattoche
I'angolo fra la direzione longitudinale principale delle15
sorgentie
la direzione di alimentazione del substratae compreso
tra 15°e 60° e
preferibilmente fra20° e
55°ed ancora
piu preferibilmente fra25° e
45°.
10.
Una sorgente
per lavaporizzazione
sottovuoto
diun
metalloo
simile,
comprendente un corpo
in materiale elettricamente conduttivo allun- 2 0 gatosecondo una
direzione longitudinale principale, caratterizzata dal fatto dipresentare
una
superficie predisposta performare almeno due pozze
dime-
tallo fuso
su
detta superficie,su
detta superficieessendo
realizzate incisioni per definirealmeno due zone
in cui siformano
dettepozze
di metallofuso.11.
Sorgente come da
rivendicazione 10, caratterizzata dal fatto25 che
dette incisionihanno un andamento
lineare esono
tra loromaggiormen-
te accostate in
corrispondenza
dellezone
destinatea formare
lapozza
dimetallo fuso.
12.
Sorgente come da
rivendicazione 10o
11, caratterizzata dal fat- to dicomprendere una
serie di incisioni estendentisi lungo dettocorpo
allun-30
gato, le qualipresentano almeno due zone
in cui dette linee di incisionesono
tra loro rawicinate.
13.
Sorgente come da una o
piu delle rivendicazioni10 a
12, carat-Pag.
11/13CAdocumenti_rn ichel e\descrizioni\gal120902.doc
terizzata dal fatto
che
dettedue pozze sono
allineate circasecondo
la dire- zione iongitudinale principale di sviluppo di dettocorpo
allungato.14.
Sorgente come da una o
piu deile rivendicazioni10 a
13, carat- terizzata dal fattoche
dette incisioni alterano la bagnabillta superficiale della superficie dellasorgente
incorrispondenza
dellezone
in cuidevono
formarsidette
almeno due
pozze.15.
Sorgente come da una o
piu delle rivendicazioni10 a
14, carat- terizzata dal fattoche
dette lineedi incisionesono
linee di incisione laser.Pag. 12/13
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IMPIANTO
DlVAPORIZZAZIONE SOTTO VUOTO PER LA METALLIZZA- ZIONE
DlUN SUBSTRATO NASTRIFORME A SORGENTI INCLINATE E SORGENTE PER IMPIANTI
DlVAPORIZZAZIONE SOTTO VUOTO
5
Riassunto
L'impianto
comprende: una
pluralita di sorgenti divaporizzazione
(33) a- limentatecon un
metalloche viene
liquefattoe
vaporizzatoda
dette sorgenti;mezzi
di alimentazione del substrato al disopra
di dette sorgenti,secondo una
direzione dialimentazione
(FN), dette sorgentiessendo
tra loro affianca-10
tesecondo un
allineamentosostanzialmente
ortogonale alia direzione di ali-mentazione; mezzi
erogatori (51) di filo metallico (F)a
dette sorgenti;mezzi
persupportare e
riscaldare dette sorgenti.Ciascuna
di dette sorgentie
predi-sposta
performare su
diessa almeno due pozze
di metallo fuso,con due o
piu cavita (41A, 41 B)
o mezzi
equivalent!, preferibilmente allineatesecondo 15
la direzione principale (DL) dellasorgente
stessa.(Fig.6)
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