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Introduzione
Capitolo 1 - Stato dell’arte dei biosensori di DNA 3
1.1. DNA microarray 8
1.2. Cantilever/membrane a flessione statica come sensori di DNA 10
1.3. Biosensori basati su silicio poroso 19
1.4. Biosensori a rivelazione di carica 24
1.5. Biosensori impedenzimetrici 26
1.6. Dispositivi gravimetrici 33
Capitolo 2 - Microbilance di seconda generazione: funzioni e tecnologia 42
2.1. Descrizione del principio di funzionamento: 42
attuazione e rivelazione 2.2. Caratteristiche meccaniche ed elettriche 45
2.3. Criteri di ottimizzazione delle microbilance 48
2.4. Tecnologia di fabbricazione 59
Capitolo 3 - Realizzazione dei dispositivi 67
3.1. Processo industriale 67
3.2. Post-processing nei dispositivi di seconda generazione 68
3.2.1 Preparazione dei campioni: taglio e pulizia 70
3.2.2 Fotolitografia per la protezione degli ossidi strutturali 70
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ii
3.2.3 Attacco in soluzione BHF 80
3.2.4 Attacco della metal 89
3.2.5 Attacco in TMAH 93
3.3 Confronto con i dispositivi di prima generazione 102
3.4. Risultati ottenuti 104
Conclusioni 109
Bibliografia 111
