Sommario
L’attività di ricerca sviluppata durante il mio corso di dottorato è stata incen- trata sui processi MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) CMOS-compatibili e la loro applicazione allo sviluppo di biosensori.
Una prima attività è stata orientata verso lo sviluppo di una tecnica per ridurre i tempi di rilascio e per aumentare la libertà nella progettazione di microstrutture sospese di grandi dimensioni fabbricate mediante un attacco anisotropo del silicio. Questo obiettivo è stato ottenuto attraverso la definizione su di una membrana di un opportuno pattern periodico con angoli convessi. In particolare, sono stati proposti ed analizzati pattern periodici diversi. Inoltre, sono presentati i dati sperimentali sui tempi di rilascio delle membrane.
La seconda attività di ricerca si è concentrata sul miglioramento del pro- getto e della fabbricazione di una microbilancia, attuata magneticamente, per applicazioni biosensoristiche. Inoltre, è stato sviluppato un protocollo CMOS compatibile per legare covalentemente uno strato di silani (da usate come siti di collegamento per probe biomolecolari) sulla superficie della microbilancia.
La funzionalità del dispositivo come sensore gravimetrico è stata verificata. In- oltre, é stato progettato un oscillatore elettronico, integrato su di un unico chip, basato sul risonatore MEMS. Un primo prototipo del circuito è stato realizzato e caratterizzato.
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