INDICE
I
INDICE
INDICE
……….….IINTRODUZIONE
………IVCAPITOLO 1 - CLASSIFICAZIONE DEI SENSORI
DI PORTATA
………...11.1
Classificazione Dei Sensori Di Portata
……….………31.1.1 Misuratori Di Velocittà……….4
1.1.2 Misuratori Diretti Di Portata…………...………14
1.2
I Microinfusori
………..………161.3
Descrizione Di Alcuni Tipi Di Pompe
………...…………201.3.1 I Microattuatori………...……25
1.4
I Sensori
………...………27INDICE
II
CAPITOLO 2 – INTRODUZIONE ALLO STUDIO DI SENSORI
INTEGRATI DI FLUSSO
………...…342.1
Introduzione Allo Studio Dei Mems
………. 352.2
Principali Tecniche di Fabbricazione Dei Mems
………..…372.3
Importanza Del Package Per La Tecnologia Mems
………432.4
Applicazioni Dei Mems
………..462.4.1 Sensori………...47
2.5
Sensori Di Portata Integrati Per Liquidi: Esempi Presenti
In Letteratura
………...…532.5.1 Sensori Termici Di Flusso Calorimetrici………...53
2.6
Il Processo BCD6
………602.7
Descrizione Del Chip
………..622.8
Principio Di Funzionamento Del Sensore
………..67CAPITOLO 3 – PACKAGE DEI SENSORI DI PORTATA
……683.1
Packaging: Introduzione
………...693.2
Package Dei Flussimetri: Considerazioni Preliminari
…...723.3
Descrizione Della Fresa
……….753.4
Package Del Flussimetro: Adattatore Con Canale A “U”
… ………...773.5
Strategie Di Allineamento E Di Fissaggio Del Package
…83 3.6Package Del Flussimetro: Adattatore A Doppio Canale
… ……….………903.7
Package Del Flussimetro: Adattatore Con Canale Isolato
... ………93INDICE
III
CAPITOLO 4 – CARATTERIZZAZIONE DI FLUSSIMETRI
INTEGRATI PER LIQUIDI
………..964.1
Interfaccia Elettrica E Linea Di Gas ..
………..…974.2
Set Up Di Misura Utilizzato Per Gli Esperimenti Con I
Liquidi
………1014.2.1 Spingitore Di Siringa ……….………....102
4.2.2 Programma Di Gestione Della Misura ………..104
4.3
Misure Di Temperatura
………1104.4
Misure Di Isolamento
……….1134.5
Misure Di Portata
………1204.6
Misure Su Altri Tipi Di Flussimetri
………..1254.7
Simulazioni
………1284.7.1 Modello 2D ……….…..128
Analisi Statica Con Modello 2D ………132
Analisi Dinamica Stazionaria Con Modello 2D …………135
4.7.2 Simulazioni In 3D ……….140
