Indice 134
Indice
Introduzione
1Capitolo 1: Sensori di pressione integrati
1.1 Introduzione 3
1.2 Sensori resistivi 5
1.2.1 Struttura dei sensori di pressione piezoresistivi 7
1.2.2 Interfacce per sensori piezoresistivi 10
1.3 Sensori capacitivi 14
1.3.1 Struttura dei sensoricapacitivi 14
1.3.2 Interfacce per sensori capacitivi 16
1.4 Sensori di pressione integrati 18
1.4.1 Funzionamento dei sensori di pressione risonanti 19
1.4.2 Interfacce per sensori risonanti 22
Indice 135
1.5.1 Interferometri 25
1.5.2 Microponti con guide d’onda 27
Capitolo 2: Studio di un’interfaccia per un sensore STMicroelettronics
2.1 Sesnsore STMicroelettronics 30
2.2 Specifiche di progetto del linearizzatore e dell’interfaccia
di lettura 35
2.3 Interfaccia di lettura del sensore STMicroelettronics 36
2.3.1 Circuito ICMFB 38
2.3.2 Funzionamento dell’interfaccia 39
2.4 Algoritmo di linearizzazione 43
2.5 Linearizzatore PWL in modalità parallelo 46
2.6 Circuito linearizzatore sequenziale 48
2.6.1 Algoritmo sequenziale e sua implementazione 49
2.6.2 Generatore di tensioni di riferimento 51
2.6.3 Amplificatore a guadagno variabile e accumulatore delle uscite 55
2.6.4 Comparatore 60
2.6.5 Controllore 62
Capitolo 3: Blocchi funzionali
3.1 Introduzione 66
3.2 Comportamento non ideale degli interruttori 67
3.3 Reti di calibrazione 70
3.3.1 Rete di calibrazione a 72
3.3.2 Rete di calibrazione C_2C 75
3.3.3 Confronto tra le reti di calibrazione a e C_2C 79
3.4 Implementazione del sensore fittizio 86
3.5 Blocchi funzionali con calibrazione 91
3.6 Interfaccia seriale per il pilotaggio delle rei di calibrazione 94
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Capitolo 4: Risultati delle simulazioni e layout dei blocchi funzionali
4.1 Risultati delle simulazioni 103
4.2 Realizzazione dei layout dei circuiti ausiliari 113 4.2.1 Difetti dei circuiti integrati analogici e precauzioni 114
4.2.2 Layout dei circuiti analogici 123
