Conclusioni
In questa tesi si è analizzato, il comportamento piezoresistivo di microrisonatori torsionali, attuati in maniera capacitiva. Con due strumenti di analisi (simulazioni calcoli analitici) si è scoperto che strutture del genere, formate da un diaframma centrale e da due molle laterali di sostegno, possono essere utilizzate anche come sensori piezoresistivi di angolo, permettendo quindi di creare sistemi contenenti una parte capacitiva di attuazione ed una piezoresistiva di sensing. Nell’analisi svolta si sono trascurati alcuni effetti che possono disturbare la misura, il più importante dei quali è la temperatura, che influenza il valore di resistenza a riposo ed il comportamento piezoresistivo del materiale: sviluppi futuri del progetto verteranno, quindi, sull’effettiva misurazione dei dispositivi fabbricati e sul confronto fra i risultati ottenuti in questa tesi e quelli ricavati dalle misure..
