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n-domain n-domain B

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Academic year: 2021

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(1)
(2)
(3)
(4)
(5)
(6)

n-domain n-domain B

drain contact source contact

x

1 x2

oxide

p-domain gate contact

bulk contact

E F

H G

C D

A

(7)
(8)
(9)
(10)
(11)
(12)
(13)
(14)
(15)
(16)
(17)
(18)
(19)
(20)
(21)
(22)
(23)
(24)
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(27)
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(29)
(30)
(31)
(32)
(33)
(34)
(35)
(36)
(37)
(38)

e

1

P

1

e

2

e

3

P

P

3

2

(39)
(40)
(41)
(42)
(43)
(44)
(45)
(46)
(47)
(48)
(49)
(50)
(51)
(52)
(53)
(54)
(55)
(56)

e e

e

1 3

2

(57)
(58)

r

i

e e

e

k j

C d

k

r r

r

(59)
(60)
(61)
(62)
(63)
(64)
(65)
(66)
(67)
(68)
(69)
(70)
(71)
(72)
(73)
(74)
(75)
(76)
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(78)
(79)
(80)
(81)
(82)
(83)
(84)
(85)
(86)
(87)

x

i

x

j

x

k

x l

i

e

i

l

j

e

j

l

k

e

k

(88)
(89)

0 0.2 0.4

0.6 0.8

1

0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1

0 0.2

0.4 0.6

0.8 1

0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1

(90)
(91)
(92)
(93)
(94)
(95)
(96)
(97)
(98)
(99)
(100)
(101)
(102)
(103)
(104)
(105)
(106)
(107)
(108)
(109)
(110)
(111)
(112)
(113)

10−3 10−2 10−1 100 10−3

10−2 10−1

p=1

10−3 10−2 10−1 100

10−4 10−3 10−2 10−1

p=2

10−3 10−2 10−1 100

10−1 100 101

p=1

10−3 10−2 10−1 100

10−1 100 101

p=1

(114)

10−3 10−2 10−1 100 10−3

10−2 10−1

p=1

10−3 10−2 10−1 100

10−4 10−3 10−2 10−1 100

p=2

10−3 10−2 10−1 100

101 102 103

p=1

10−3 10−2 10−1 100

102 103 104

p=1

(115)
(116)

(1,0)

(1,1) (0,0)

D

A

C

E B

F

(117)

(0,0)

(1,0)

(1,1)

(0,0)

(1,0)

(1,1)

(118)
(119)

0 1 0

1

0 1

0 1

(0,1) (0,0)

(1,1)

(120)

P

N

(121)
(122)
(123)

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 1015

1016 1017 1018

Position in µm

Doping concentration in cm3

(124)

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0

500 1000 1500 2000 2500

Position in µm

Electron temperature in K

= 0 = 0.5/eV

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6

0 5 10 15x 106

Position in µm

Electron mean velocity in cm/s

= 0 = 0.5/eV

(125)

n p

1.0×102 1.0×104 1.0×106 1.0×108 1.0×1010 1.0×1012 1.0×1014 1.0×1016 1.0×1018

0 0.0001

Tn Tp

3.0×102 1.0×104 1.6×104

0 0.0001

+

S D

B G oxide n

p

n

p

+ +

S

D

G

B

1e+16 1e+17 1e+18 1e+19 1e+20

1.0×1015 1.0×1016 1.0×1017 1.0×1018 1.0×1019 1.0×1020 1.0×1021 1.0×1022

0 0.0001 0.0002

0

0.0001 0.0002

(126)

S D G

B

1.0×104 1.0×106 1.0×108 1.0×1010 1.0×1012 1.0×1014 1.0×1016 1.0×1018 1.0×1020 1.0×1022

0 0.0001 0.0002

0 0.0001 0.0002

S D

G

B

0.0×100 1.0×105 2.0×105 3.0×105 4.0×105

0 0.0001

0.0002 0

0.0001 0.0002

(127)

S

D G

B

300 1000 2000 3000 4000 4711

0 0.0001

0.0002 0

0.0001 0.0002

S

D G

B

300 1000 1722

0 0.0001

0.0002 0

0.0001

0.0002

(128)
(129)
(130)
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(138)
(139)

Riferimenti

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