Indice
Introduzione...III
1 Sensori di gas a semiconduttore...1
1.1 Introduzione...1
1.2 Sensori ad effetto di campo...6
1.3 Sensori a film superficiale...17
1.4 Sensori ottici...24
2 Il silicio poroso...29
2.1 Cenni storici...29
2.2 Produzione del silicio poroso...31
2.2.1 Metodi di produzione...31
2.2.2 Tecniche di asciugatura...33
2.3 Formazione del silicio poroso...37
2.3.1 Il sistema elettrochimico Si-HF...37
2.3.2 Chimica di dissoluzione della superficie...43
2.3.3 Meccanismi di formazione...50
2.4 Proprietà del silicio poroso...52
2.4.1 Morfologia del silicio poroso ed effetti dei parametri di anodizzazione su di essa...52
2.4.2 Composizione chimica della superficie facilmente contaminabile...57
2.4.3 Invecchiamento e stabilizzazione del silicio poroso...58
2.5 Applicazioni nel campo sensoristico...59
2.5.1 Sensori elettrici...60
Indice II
3 Fabbricazione di un sensore di gas di silicio poroso...67
3.1 Processo di fabbricazione...70
3.1.1 Realizzazione dei pad sul front del susbtrato...71
3.1.2 Realizzazione del contatto metallico sul back del substrato...80
3.1.3 Litografia di definizione della protezione dei pad...80
3.1.4 Realizzazione dello strato poroso...82
3.2 Incapsulamento del sensore...86
3.3 Descrizione del metodo impiegato per lo studio dei profili di crescita del silicio poroso...87
3.3.1 Metodo current switching...90
4 Caratterizzazione del sensore di gas in presenza di vapori
organici...96
4.1 Caratterizzazione del sensore...101
4.1.1 Setup sperimentale...101
4.1.2 Caratterizzazione elettrica del sensore...105
4.2 Principio di funzionamento...129
