I
Indice
Introduzione 1 1 Commmutatori ottici per le telecomunicazioni 4
1.1 Introduzione ai sistemi MEMS 6 1.2 Introduzione ai commutatori ottici a microspecchi 10 1.2.1 Architetture dei commutatori ottici OXC in tecnologia MEMS 11 1.2.2 Metodi di attuazione 14 1.2.2.1 Dispositivi ad attuazione 15 1.2.2.1.1 Microspecchio torsionale con struttura a veneziana 25 1.2.2.2 Dispositivi ad attuazione elettromagnetica 26 1.2.2.3 Dispositivi ad attuazione elettrotermica 33 1.3 Commutatori orrici in guida d’onda 35
2 Struttura e metodi di caratterizzazione del microspecchio 39 2.1 Analisi di un microspecchio torsionale a veneziana 39 2.1.1 Caratterizzazione statica 44 2.1.2 Caratterizzazione dinamica 53 2.2 Metodi di misura 56 2.3 Il metodo della seconda armonica 57 2.4 Pilotaggio di tensione in regime dinamico 64 2.5 Pilotaggio dinamico in un attuatore elettrostatico a piatti piani e paralleli: studio di L.A.Rocha et al. 65 2.5.1 Modello dinamico 65 2.5.2 Diagrammi dello spazio delle fasi 68 2.5.3 Spostamento con pilotaggio dinamico 71
II
2.5.4 Attuazione dinamica in anello chiuso 72 2.5.5 Risultati sperimentali 75 2.6 Pilotaggio dinamico per dispositivi torsionali 76
3 Progettazione e realizzazione di circuiti per la caratterizzazione
di un microspecchio torsionale 79
3.1 Circuito per l’attuazione del microspecchio 80 3.1.1 Progettazione 80 3.1.2 Realizzazione 83 3.1.3 Test di funzionamento 84 3.2 Sistema per la misura della seconda armonica: circuito e
strumentazione 87 3.2.1 Lo stadio transresistivo 92 3.2.2 Test effettuati sul dispositivo 98 3.3 Misura tramite metodo ottico 100
