Introduzione ...1
1 Il sistema attuale ...3
1.1
Litografia a fascio di elettroni... 3
1.2
Il pattern generator ... 4
1.3
Il microscopio elettronico a scansione... 5
1.3.1 Principio di funzionamento del SEM... 6
1.3.2 Struttura del microscopio ... 7
1.4
Organizzazione del sistema di litografia elettronica ... 9
1.5
La scheda di acquisizione... 11
2
Il nuovo sistema ...13
2.1
Problematiche... 13
2.2
Architettura
(Brevetto
dell’Università
di
Pisa
n°
PI2005A000130) ... 15
2.2.1 La scelta dei DAC ...20
2.3
Specifiche e obiettivi di progetto... 21
3
La scheda di I/O digitale: C8051F12x. ...23
3.1
Descrizione generale ... 23
3.2
La scheda connettore ... 25
3.3
Il modulo USB... 27
4
La scheda Opto...31
4.1
L’optoisolatore ... 31
4.2
L’optoisolatore HCPL-2630... 31
4.3
La configurazione adottata ... 34
5
Le schede DAC...39
5.1.1 Descrizione dei pin...41
5.1.2 Architettura interna...42
5.1.3 Schema di montaggio ...44
5.1.4 Temporizzazione...45
5.1.5 La scelta della versione...46
5.2
Il DAC Veloce: il DAC16 ... 46
5.2.1 Descrizione dei pin...47
5.2.2 Architettura interna...48
5.2.3 Gli ingressi digitali ...49
5.2.4 Il riferimento esterno ...51
5.2.5 La scelta della versione...52
5.3
Il DAC di Riferimento: l’AD7846... 52
5.3.1 Descrizione dei pin...53
5.3.2 Architettura interna...55
5.3.3 Temporizzazione...56
5.3.4 La scelta della versione...56
5.4
Beam Blanker e External Scan... 56
5.5
Il progetto... 58
5.5.1 Schema elettrico: definizione del bus dati e connettore ...59
5.5.2 Schema elettrico: AD1139 ...60
5.5.3 Schema elettrico: AD7846 ...62
5.5.4 Schema elettrico: il riferimento di tensione MAX6250...63
5.5.5 Schema elettrico: DAC16 e i 74LS273...64
5.5.6 Schema elettrico: lo stadio di uscita...69
5.5.7 La calibrazione...76
6
La scheda SED ...78
6.1
La scheda di acquisizione attuale... 78
6.2
Il nuovo convertitore ... 80
6.2.1 Descrizione dei pin...81
6.2.2 Configurazione degli ingressi e temporizzazioni ...82
7
Il pacco batterie...87
7.1
I regolatori serie delle famiglie 7800 e 7900... 87
7.2
Lo schema elettrico... 88
8
Estensione dell’area di scrittura ...91
8.1
L’interferometro di Michelson... 92
8.1.1 I rivelatori ...96
8.1.2 La realizzazione ...99
8.1.3 Il motore passo passo ...101
8.1.4 Il pilotaggio del motore passo passo ...102
8.1.5 I risultati...106
8.1.6 Strategia di misura ...108
