Capitolo 2 Capitolo1 Introduzione Indice

Indice

Introduzione

Capitolo1

Elettrochimica del Silicio...1

1.1 Primi Studi sull’Elettrochimica del Silicio: il Silicio Macroporoso………...1

1.2 Il Contatto Semiconduttore-Elettrolita: la Caratteristica I-V………....3

1.3 Il Sistema Elettrochimico Si-HF………..……….9

1.4 La Formazione dei Pori: Aspetti Generali………..………13

1.5 Modelli di Formazione del Silicio Poroso………..………15

Capitolo 2

2.1 Macropori su Silicio di Tipo p………...………..…...21

2.1.1 Formazione dei Macropori………..………...21

2.1.2 Caratteristiche Morfologiche………..………...25

2.2 Macropori su Silicio di Tipo n………..………..29

2.2.1 Formazione di Macropori Random………..………..………29

2.2.2 Macropori Ordinati………..………..43

2.2.3 Micromachining Elettrochimico………..………..51

Capitolo 3

Processo per la Formazione di Macropori ad Elevata Profondità………...64

3.1 Set-up Sperimentale………..…………..64

3.2 Effetti della Radiazione IR………...……68

3.2.1 Caratterizzazione del Sistema SI-HF………..….……..70

3.2.2 Crescita di Macropori Random………..…………...….81

3.3 Effetti della Concentrazione di Etanolo………...………..….88

3.4 Crescita di Macropori Ordinati………..……….…90

3.4.1 Preparazione dei Campioni………..……….….91

3.4.2 Realizzazione di Array di Microcelle………..………..93

3.5 Array di Spirali………..………...……103

3.5.1 Litografia………..………...……103

3.5.2 Processo di Fabbricazione………..……….106

Conclusioni