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Capitolo 2 – Struttura e tecnologia del dispositivo Capitolo 1 – Sensori chimici CMOS-compatibili Introduzione Sommario

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Academic year: 2021

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(1)

i

Sommario

Introduzione

... pag. 1

Capitolo 1 – Sensori chimici CMOS-compatibili

... pag. 4

1.1 Sensori planari di DNA ... pag. 8 1.2 Sensori al quarzo: i QCM (Quartz Crystal

Microbalance) ... pag. 14 1.3 I MEMS come sensori chimici CMOS-compatibili ... pag. 22

Capitolo 2 – Struttura e tecnologia del dispositivo

. pag. 34

2.1 Dimensioni delle strutture e processo di

prelavorazione ... pag. 38 2.2 Proprietà dei MEMS: funzionamento, attuazione,

rivelazione... pag. 41 2.3 Simulazioni in FEMLAB delle strutture ... pag. 52 2.4 Flusso dei passi di post-processing ... pag. 56

2.4.1 Preparazione dei campioni ... pag. 58

2.4.2 Fotolitografia... pag. 59

2.4.3 Attacco in BHF... pag. 62

2.4.4 Attacco dell’alluminio ... pag. 65

2.4.5 Retro-evaporazione di alluminio ... pag. 66

(2)

Sommario

ii

Capitolo 3 – Caratterizzazione dei dispositivi

realizzati

... pag. 77

3.1 Misure ottiche: descrizione e risultati ... pag. 79 3.2 Misure elettriche: descrizione e risultati ... pag. 85

3.2.1 Risultati dei risonatori di tipo A ... pag. 90

3.2.2 Risultati dei risonatori di tipo B ... pag. 96

3.2.3 Caratterizzazione in funzione delle condizioni

ambientali ... pag. 103

Conclusioni e sviluppi futuri

... pag. 108

Appendice A

... pag. 110

Appendice B

... pag. 115

Riferimenti bibliografici

... pag. 129

Riferimenti

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